[发明专利]具备压力式流量控制装置的气体供给设备

权利要求书

1.一种具有压力式流量控制装置的气体供给设备，该压力式流量控制装置是在将节流孔上游侧压力保持成为节流孔下游侧压力的约2倍以上的状态下，一边进行气体的流量控制，一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体，其特征在于，气体供给设备的构成包括：从气体供给源接受气体的控制阀，设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀，设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器，设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔，在根据前述压力检测器的检测压力P₁将流量作为Qc＝KP₁(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置，通过对控制阀的开闭进行控制来调节压力P₁，由此控制供给气体流量。

2.根据权利要求1所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，将控制阀作成具有压电元件驱动型的驱动部的直接接触型的金属隔膜式阀，同时将节流孔对应阀作成直接接触型的金属隔膜式阀，还采取将压力检测器向控制阀的阀主体上组装成一体的结构。

3.根据权利要求1所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，将控制阀的阀主体与节流孔对应阀的阀主体制成一体。

4.根据权利要求1所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，将节流孔对应阀的阀动机构插装在阀主体的阀腔内，该阀动机构是由内板、阀座座板与金属隔膜形成，其中，在所述内板的中央部上分别穿通设置阀座座板插装孔，而在外周部上穿通设置气体流入孔，所述阀座座板成气密状地插装在前述内板的阀座座板插装孔内，并在中央部形成阀座与连通到阀座的气体流出口以及缩小气体流出口的节流孔，所述金属隔膜配置在阀座座板的上方，通过与阀座座板上的阀座接触或分离来开闭流体通路。

5.根据权利要求2所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，将节流孔对应阀作成具备电磁驱动型的驱动部的节流孔对应阀。

6.根据权利要求2所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，将节流孔对应阀作成具备空气压动作型的驱动部的节流孔对应阀。

7.根据权利要求4所述的具备压力式流量控制装置的气体供给设备，在阀座座板上将环状的阀座突出设置在盘状体的上面一侧，同时在环状的阀座座板的中央部的薄壁部穿通设置与下方的气体流出通路连通的小孔而成为节流孔，并且将该节流孔部分的厚度t作成0.03～0.1mm。