[发明专利]在等离子体中产生激活/离子化粒子的装置

权利要求书

1、在一种过程气体的等离子体中产生激活/离子化粒子的装置，包括一个用于产生电磁波的发生器(11)，一个传输所述电磁波的同轴导体(30)，以及至少一个等离子区(20)，在该段内通过电磁波形成激活/离子化的粒子，本发明的特征是，在同轴导体(30)的位于一个外导体(18)和一个内导体(19)之间的内腔室(31)中，设置一个用于输入过程气体的进口(17)，并且所述内腔构成等离子区(20)。

2、如权利要求1所述的装置，其特征是，所述用于产生电磁波的发生器(11)是一个磁控管。

3、如权利要求1或2之一所述的装置，其特征是，所述同轴导体(30)的内导体(19)用金属、具有氧化物或石英涂层的金属或者金属氧化物或石英制成。

4、如权利要求1或3之一所述的装置，其特征是，所述同轴导体(30)的外导体(18)用金属、具有氧化物或石英涂层的金属或者金属氧化物或石英制成。

5、如权利要求1至4中任何一项所述的装置，其特征是，所述同轴导体(30)的内导体(19)/外导体(18)通过一个冷却器，特别是通过一个水冷却器冷却。

6、如权利要求1至5中任何一项所述的装置，其特征是，所述电磁波通过一个阻抗匹配变压器(12，15)引入所述同轴导体(30)。

7、如权利要求6所述的装置，其特征是，所述阻抗匹配变压器(12，15)包括一个空心导体(12)和一个阻抗匹配变压器调节器锥体(15)。

8、如权利要求6或7之一所述的装置，其特征是，在所述电磁波发生器(11)或阻抗匹配变压器(12，15)和等离子区(20)之间设有一个传输段(50)，在该段内电磁波以基本无损的方式传输。

9、如权利要求8所述的装置，其特征是，所述传输段(50)是由同轴导体构成的。

10、如权利要求1至9中任何一项所述的装置，其特征是，所述等离子区(20)的长度是可变的。

11、如权利要求1至10中任何—项所述的装置，其特征是，设置一个电磁铁系统(40)。

12、如权利要求11所述的装置，其特征是，所述电磁铁系统(40)至少包括一个设置在外导体(18)外部的磁场线圈(42)。

13、如权利要求11或12所述的装置，其特征是，所述电磁铁系统(40)包括设置在所述外导体(18)外部的磁环(43)/极靴环。

14、如权利要求11至13中任何一项所述的装置，其特征是，所述电磁铁系统(40)包括位于内导体(19)中的棒状极靴或棒状磁铁(44)。

15、如权利要求1至14中任何一项所述的装置，其特征是，在所述等离子区(20)内设置一个监控等离子体(25)的传感器系统。