[发明专利]电子组件的三维检测方法和设备

权利要求书

1． 一种用于检测球形网格阵列(70)的设备，其中该设备通过采用

    淀积在一个校准透明标线片(20)上的带有点图纹(24)的精密

    图纹掩模(22)被校准，该用于检测球形网格阵列(70)的设备

    包括：

    (a)一个用于安装球形网格阵列(70)的装置；

    (b)一个用于照射球形网格阵列(70)以提供该球形网格阵列轮廓

       的装置；

    (c)一个第一相机(10)，设置成对该球形网格阵列成像以提供球

       形网格阵列(70)的第一图像(80)；

    (d)一个第一光反射装置(34)，设置成将该球形网格阵列反射通

       过一个第二光反射装置(36)进入一个第二相机(15)，其中

       第二相机(15)提供球形网格阵列(70)的第二图像(90)；

    (e)一个第三光反射装置(30)，设置成将该球形网格阵列的相反

       侧视图反射至一个第四光反射装置(32)并进入第二相机

       (15)，作为球形网格阵列(70)的第二图像的一部分；和

    (f)一个图像处理装置(13)，用于处理球形网格阵列(70)的第

       一图像(80)和第二图像(90)，以检测球形网格阵列(70)。

2． 如权利要求1所述的设备，其中用于照射球形网格阵列(70)的

    装置还包括一个用于照射球形网格阵列(70)的光源，以及一个

    架空式光反射漫射器(5)提供来自该光源的对球形网格阵列的照

    射。

3． 如权利要求1所述的设备，其中第一光反射装置还包括反射镜

    (32，36)。

4． 如权利要求1所述的设备，其中第一光反射装置还包括棱镜(30，

    34)。

5． 如权利要求1所述的设备，其中第一光反射装置还包括曲面反射

    镜(38)。

6． 如权利要求1所述的设备，其中第二光反射装置还包括反射镜

    (32，36)。

7． 如权利要求1所述的设备，其中第二光反射装置还包括棱镜(30，

    34)。

8． 如权利要求1所述的设备，其中第二光反射装置还包括曲面反射

    镜(38)。

9． 如权利要求1所述的设备，其中所述球形网格阵列(70)还包括

    晶片上的球体。

10．如权利要求1所述的设备，其中所述球形网格阵列(70)还包括

    模具上的球体。

11．如权利要求1所述的设备，其中第一相机(10)与一个图面取样

    板(12)相连以接收第一图像(80)。

12．如权利要求11所述的设备，其中图面取样板(12)向一个处理器

    (13)提供图像数据输出以进行二维检测。

13．如权利要求1所述的设备，还包括用以沿一个维度放大该第二图

    像的非线性光学元件(39)。

14．如权利要求1所述的设备，其中第二侧视图的光路长度(34、36、

    38)等于第一侧视图的光路长度(30、32、38)。

15．如权利要求1所述的设备，其中侧视图的最大焦深使得固定焦距

    系统可以检测较大的球形网格阵列，通过以一个侧视图(80)对

    球形网格阵列的一个部分进行成像而以另一个侧视图(90)对球

    形网格阵列的第二部分进行成像来实现。

16．如权利要求15所述的设备，其中球形网格阵列的一个部分为该球

    形网格阵列的至少第一半，而球形网格阵列的第二部分为该球形

    网格阵列的至少第二半(90)。