[发明专利]能量有效RF振荡器

权利要求书

1、一种电子束印刷机组件，包括：

RF发生器，该发生器包括铁粉铁芯变压器，电源驱动器，控制逻辑，和振荡反馈电路；和

所说变压器连接到电子束印刷卡盘。

2、如权利要求1所述的组件，其中所说RF发生器进一步包括与所说变压器操作连接的双脉冲宽度发生器。

3、如权利要求2所述的组件，其中所说变压器包括初级、次级和箝位线圈，所说次级线圈连接到所说卡盘。

4、如权利要求3所述的组件，其中所述卡盘包括18英寸600DPI印刷卡盘；其中所述组件能够有效地印刷以大于200FPM速度移动的基板。

5、如权利要求2所述的组件，其中所述双脉冲宽度发生器包括一个与非门，一个电容，两个电阻，和一个二极管，所有的都连接到可调节的电压源。

6、如权利要求1所述的组件，其中所述变压器具有螺旋形铁芯。

7、如权利要求1所述的组件，其中所述变压器铁芯是一氧化碳SF的铁芯。

8、如权利要求3所述的组件，其中所述双脉冲宽度发生器包括一个与非门，一个电容，两个电阻，和一个二极管，所有的都连接到可调节的电压源。

9、如权利要求6所述的组件，其中所述变压器包括初级、次级和箝位线圈，所述次级线圈连接到所述卡盘。

10、如权利要求9所述的组件，其中所述变压器铁芯是一氧化碳SF铁芯。

11、如权利要求2所述的组件，进一步包括安装到驱动板的10个所说发生器，提供两个驱动板，其中所说卡盘具有19个通道。

12、一种电子束印刷机组件，包括：

RF发生器，该发生器包括连接到变压器的双脉冲宽度发生器；和

连接到所说变压器的电子束印刷卡盘。

13、如权利要求12所述的电子束印刷机组件，其中所述双脉冲宽度发生器包括一个与非门，一个电容，两个电阻，和一个二极管，所有的都连接到可调节的电压源。

14、如权利要求12所述的组件，其中所述变压器包括初级、次级和箝位线圈，所述次级线圈连接到所述卡盘。

15、如权利要求12所述的组件，进一步包括安装到驱动板的1O个所说发生器，提供两个驱动板，其中所说卡盘具有19个通道。

16、一种使用电子束印刷卡盘和RF发生器使基板成象的方法，包括：

(a)以大于200FPM的速度移动基板；和

(b)当实施(a)时，以大于3MHz的频率操作RF发生器以驱动卡盘，因此使移动的腹板成象。

17、一种如权利要求16所述的方法，其中使用具有铁粉铁芯变压器的发生器和双脉冲宽度发生器实施(b)。

18、一种如权利要求17所述的方法，其中使用600DPI 18英寸印刷卡盘，以大约5MHz的频率操作RF发生器来实施(b)。

19、一种如权利要求16所述的方法，其中使用600DPI 18英寸印刷卡盘，以大约5MHz的频率操作RF发生器来实施(b)。

20、一种如权利要求14所述的方法，其中以210-300FPM之间的速度移动基板实施(b)。