[发明专利]用于工件的线性尺寸检查的测头、系统和方法

权利要求书

1．一种用于一工件(10)的线性尺寸检查的测头(T)，包括：

一支承结构(1)；

一臂部件，它可相对所述支承结构移动，并包括

一臂(2)；以及

一探针(3)，它连接在所述臂(2)上，与被检查的工件表面接触；以及

传感装置(5，6，7)，它与所述臂(2)与所述支承结构(1)连接，并按照所述臂(2)相对所述支承结构(1)的位置产生信号；

其特征在于，所述测头还包括一带有电子识别器(27)的、以便储存与测头有关的识别数据的电子识别单元(17)，以及一供电子识别器用的基准和保护框架(19)。

2．如权利要求1所述的测头，其特征在于，支承结构(1)限定一底座(13)，电子识别单元(17)安装在所述底座(13)里。

3．如权利要求1或2所述的测头，其特征在于，电子识别器(27)包括储存单元(30)，以及无线传送和接受与测头有关的识别数据的传送和接受单元(31，34)。

4．如权利要求3所述的测头，其特征在于，所述传送和接受单元包括天线(34)和射频接受和传送单元(31)。

5．如权利要求4所述的测头，其特征在于，基准和保护框架(19)包括将电子识别单元(17)定位和锁定在底座(13)中的基准部分(24，25)，以及与电子识别器(27)配合并将其位置锁定在所述框架(19)上的弹性锁定部分(22，23)。

6．如权利要求5所述的测头，其特征在于，基准和保护框架(19)具有用塑料制成的整体结构。

7．一种用于一工件(10)的线性尺寸检查的系统，它具有如前述权利要求之一所述的测头(T)，一处理单元(PC，U)，以及与该处理单元(PC，U)连接的一读写单元(D)，该读写单元(D)包括能通过无线通信方法传送和接受来自所述测头(T)的电子识别单元(17)的数据的接受和传送单元(40，41)。

8．如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述接受和传送单元(40，41)通过传送射频调制的电信号接受和传送数据。

9．如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述处理单元包括一与测头(T)连接的、能接受测头(T)的传感器(5)的所述信号的处理、显示和控制单元(U)，该处理、显示和控制单元(U)通过读写单元(D)接受储存在电子识别单元(17)里的补偿数值，并利用测头(T)的传感器(5)的信号处理所述补偿数值。

10．一种用于一工件的线性尺寸检查的方法，它使用权利要求7至9之一所述的检查系统，该方法包括以下步骤：

利用测试设备测试和设置测头(T)，包括校准测头(T)；

在校准过程中和探针(3)发生特定位移的情况下，检测传感器(5)的信号相对理论趋势的变化；以及

通过读写单元(D)将表示检测到的变化的数值储存在电子识别单元(17)里；以及

利用测头(T)进行检查操作，它包括：

通过读写单元(D)将来自电子识别单元(17)的、表示检查到的变化的数值传送给处理单元(PC，U)；

在发生探针(3)位移时将传感器(5)的信号传送给处理单元(U)；以及

在处理单元(U)里处理传感器(5)的所述信号和表示检测到变化的所述数据，以便用后者补偿前者的趋势。

11．如权利要求10所述的方法，其特征在于，在处理单元(U)里的所述处理包括在探针(3)发生与进行的检测不对应的位移时、将表示检测到的变化的所述数值的插入的操作，以便获得表示传感器(5)的信号相对一理论趋势的变化的另一数值。

12．如权利要求10或11所述的方法，其特征在于，校准和检测在许多测头上进行，而进行测试和设置测头(T)的操作的步骤包括在许多测头上进行的检测的统计学处理，以便获得表示检测到的变化的数值。