[发明专利]具有静电微型致动器的光学微型开关及其使用方法

权利要求书

1．一种与沿一条路径延伸的激光束一起使用的光学微型开关，包括：本体，它具有一个适用于接收所述激光束的输入端口和多个输出端口；由本体携带的至少一个镜子和至少一个微型电动机；连接装置，用于把至少一个镜子耦合到至少一个微型电动机，由此至少一个微型电动机移动至少一个镜子从激光束路径外的第一位置到激光束路径内的第二位置，以将激光束引至输出端口之一，至少一个微型电动机具有至少一个静电直线致动器，用于移动至少一个镜子至第一和第二位置之一；以及控制器，它在电气上耦合到至少一个微型电动机，用于对微型电动机提供控制信号。

2．如权利要求1所述的光学微型开关，其特征在于，它与多个磁光盘表面、多个浮动头和多个输出光携带元件相组合，每个浮动头可在一个磁光盘的表面上方移动，并且输出光携带元件之一耦合至每个浮动头。

3．如权利要求2所述的光学微型开关，其特征在于，多个磁光盘表面包括磁光盘的叠层，每个磁光盘具有至少一个磁光盘表面。

4．如权利要求2所述的光学微型开关，其特征在于，激光束由磁光盘表面之一反射，以产生具有偏振旋转的反射激光束，所述光学微型开关还包括一个由本体携带的光学微型组件，用于测量所述反射激光束的偏振旋转。

5．如权利要求1所述的光学微型开关，其特征在于，多个镜子和多个微型电动机包括第一组多个镜子和相应的微型电动机以及第二组多个镜子和相应的微型电动机，激光束的路径可在第一组多个微型电动机和第二组多个微型电动机之间延伸，从而第一组多个微型电动机相对于激光束的路径面对第二组多个微型电动机。

6．如权利要求5所述的光学微型开关，其特征在于，第一组多个镜子和相应的微型电动机沿第一假想直线直线地设置，而第二组多个镜子和相应的微型电动机沿第二假想直线直线地设置，第二假想直线平行于第一假想直线和激光束的路径延伸。

7．如权利要求5所述的光学微型开关，其特征在于，第一组多个微型电动机包括沿第一假想直线并排设置的至少两个微型电动机，第一假想直线垂直于激光束的路径延伸，而第二组多个微型电动机包括沿第二假想直线并排设置的至少两个微型电动机，第二假想直线垂直于激光束的路径延伸。

8．如权利要求5所述的光学微型开关，其特征在于，第一组和第二组多个镜子的每个反射镜都倾向于沿单个方向引导激光束。

9．如权利要求5所述的光学微型开关，其特征在于，多个镜子和多个微型电动机包括：第三组多个镜子和相应的微型电动机以及第四组多个镜子和相应的微型电动机，激光束的路径可在第三组多个微型电动机和第四组微型电动机之间延伸，从而第三组多个微型电动机相对于激光束的路径面对第四组多个微型电动机；以及包括一个附加镜子和相应的附加微型电动机的装置，用于有选择地引导激光束沿在第一组多个微型电动机和第二组多个微型电动机之间延伸的第一路径以及在第三组多个微型电动机和第四组多个微型电动机之间延伸的第二路径。

10．如权利要求9所述的光学微型开关，其特征在于，第一组和第二组多个镜子以及第三组和第四组多个镜子都倾向于沿单个方向引导激光束。

11．如权利要求1所述的光学微型开关，其特征在于，多个镜子和多个微型电动机包括至少一个第一镜子和相应的第一微型电动机以及至少一个第二镜子和相应的第二微型电动机，激光束的路径可在至少一个第一微型电动机和至少一个第二微型电动机之间延伸，从而至少一个第一微型电动机相对于激光束的路径面对至少一个第二微型电动机，并且多个镜子和多个微型电动机还包括至少一个第三镜子和相应的第三微型电动机以及至少一个第四镜子和相应的第四微型电动机，激光束的路径可在至少一个第三微型电动机和至少一个第四微型电动机之间延伸，从而至少一个第三微型电动机相对于激光束的路径面对至少一个第四微型电动机，以及包括一个附加镜子和相应的附加微型电动机的装置，用于有选择地引导激光束沿在至少一个第一微型电动机和至少一个第二微型电动机之间延伸的第一路径以及在至少一个第三微型电动机和至少一个第四微型电动机之间延伸的第二路径。

12．如权利要求1所述的光学微型开关，其特征在于，多个微型电动机包括沿垂直于激光束的路径延伸的一条假想直线并排设置的至少两个微型电动机。