[发明专利]布置在膜上电子电路的定位装置有效

专利信息
申请号: 99805123.3 申请日: 1999-02-12
公开(公告)号: CN1297675A 公开(公告)日: 2001-05-30
发明(设计)人: K·施维彻尔 申请(专利权)人: 戴塔康半导体设备股份有限公司
主分类号: H05K13/04 分类号: H05K13/04;H01L21/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 郑立柱,张志醒
地址: 奥地利拉*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 布置 电子电路 定位 装置
【权利要求书】:

1.用于将布置在膜上的电子电路,例如芯片在印刷电路板上,陶瓷基片上或按倒装晶片法的类似物上定位的装置,在此借助于布置在膜下的冲压针从膜中抬起芯片,和由吸针或吸头抓住芯片,并且回转180°,由一个其它的吸针承接芯片和为了接触线路的直接连接定位在印刷电路板上,其特征在于,不仅用于从膜(2)抬起芯片(1)的冲压针(4),而且用于承接的吸针(3)实施同步的,尤其是直线的或垂直的运动,在活动地支承在臂(6)中的吸针支座(5)中安排了吸针(3),并且此臂(6)是经180°旋转运动用的驱动装置(9)可驱动的,并且其它的吸针(10)同样是支承在吸针支座(12)中的,此吸针支座保证吸针(10)四个运动自由度,即在x,y和z方向和旋转。

2.按权利要求1的装置,其特征在于,安排了两个测量摄像机(13,14),在此一个测量摄像机(14)用于印刷电路板(11)的测量,而第二测量摄像机(13)用于芯片(1)的测量,并且两个测量摄像机(13,14)是连接在一个计算机(15)上的,并且通过将两个图像叠化到一致上来实现两个测量摄像机(13,14)的标定,并且此标定的位置是可以存储在计算机(15)中的。

3.按权利要求2的装置,其特征在于,计算机(15)在芯片(1)的测量之后计算或确定标定位置的可能偏差,并且按差值操纵其它的吸针(10)。

4.按权利要求1至3之一或多个的装置,其特征在于,安排了一个步进电机作为臂(6)的180°旋转运动用的驱动装置(9)。

5.按权利要求1至4之一或多个的装置,其特征在于,臂(6)是径向地布置在转轴(18)上的,在此此转轴(18)是支承在同心的空心轴(19)中的,并且空心轴(19)是用臂(6)贯穿用的缝隙(20)配备的,此臂具有比180°较大的,尤其是191°的角度,并且空心轴(19)是经皮带传动(8)由步进电机可驱动的。

6.按权利要求1至5之一或多个的装置,其特征在于,不仅转轴(18),而且空心轴(19)具有一个径向栓(21,22),在此转轴(18)的栓(21)通过缝隙(20),或空心轴(19)中的缺口探出,并且此两个栓(21,22)是经一个拉力弹簧(23)互相连接的。

7.按权利要求1至6之一或多个的装置,其特征在于,布置在转轴(18)上的径向臂(6)实施通过挡块(17)限制的、准确的180°旋转运动。

8.按权利要求1至7之一或多个的装置,其特征在于,空心轴(19)具有一个其它的径向栓(24),而吸针支座(5)是用挡块(25)配备的,在此径向栓(24)在臂(6)的水平位置中挨靠在此挡块(25)上。

9.按权利要求1至8之一或多个的装置,其特征在于,吸针支座(5)是对抗弹簧(16)的力在臂(6)中活动地支承的。

10.按权利要求1至9之一或多个的装置,其特征在于,吸针支座(5)是在臂(6)中活动地支承的,在此安排了一方面与吸针支座(5),而另一方面与径向栓(24)连接的弹簧(26)。

11.按权利要求1至10之一或多个的装置,其特征在于,弹簧(26)是拉力弹簧。

12.按权利要求1至11之一或多个的装置,其特征在于,空心轴(19)是对抗拉力弹簧(23)的力可以继续旋转的。

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