[发明专利]固定基片的装置

权利要求书

1．用于固定各有一个内孔的基片(8)的装置(1)，带有一个外壳(15；45)和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件，其特征在于，该元件具有一个可相对外壳(15,45)轴向移动的外构件(20；49)和一个可相对外壳(15；45)轴向移动的内构件(30；58)，其中外构件(20；49)可通过构件(20,30；49,58)的相对运动扩张。

2．根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，外构件和/或内构件(20,30；49,58)是圆柱形的。

3．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在一端部(21)具有狭缝(23)。

4．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)可弹性扩张。

5．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在狭缝(23)部位有一个逐渐变细的内径(24；55)。

6．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)通过一个偏压装置(27；65)可轴向偏压。

7．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，偏压装置(27；65)是一弹簧。

8．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)在外圆周上有一个斜面(39；68)。

9．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)外圆周上的斜面(39；68)与外构件(20；49)的逐渐变细的内径(24；55)互补。

10．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(20；49)通过一偏压装置可轴向偏压到扩张外构件(30；58)的位置。

11．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，偏压装置(37；65)是一弹簧(37；65)。

12．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30)的偏压装置(37)的弹簧常数比外构件(20)的偏压装置(27)小。

13．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)有一个用于外构件和/或内构件(20,30)的偏压装置的支撑元件(25)。

14．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件和内构件(49,58)通过一共同偏压装置(65)可轴向偏压。

15．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(49)在一不可扩张的部位有一个设置在内圆周面上的环形件(56)。

16．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)有一个可从外构件(20；49)伸出来的凸起(34；62)。

17．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外壳(15；45)固定不动。

18．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外壳(15)有一个基片支承面(17)。

19．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外壳(45)有一个底壁(46)。

20．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，底壁(46)有一个导向凸起(37)。