[发明专利]基片的运送装置和方法无效
| 申请号： | 99805319.8 | 申请日： | 1999-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1298364A | 公开（公告）日： | 2001-06-06 |
| 发明（设计）人： | U·斯佩尔;K·维贝尔 | 申请（专利权）人： | 施蒂格哈马技术股份公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 德国斯台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 运送 装置 方法 | ||
1．具有一个内孔(20、24)的基片(21、25)用的带一个内手爪(2)和一个外手爪(3)的运送装置(1)，其特征为，内手爪(2)是一个内孔手爪(2)。
2．按权利要求1的装置(1)，其特征为，内手爪和外手爪(2、3)可进行相对运动。
3．按权利要求1或2的装置(1)，其特征为，内孔手爪(2)可进行垂直运动。
4．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，内孔手爪(2)的外直径小于内孔(20、24)的内直径。
5．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，内孔手爪(2)是气动的。
6．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，内手爪和外手爪(2、3)可相互独立进行操作。
7．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，外手爪(3)是一个真空吸气器(3)。
8．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，真空吸气器(3)具有许多布置在一个环内的吸气器(16)。
9．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，环(15)具有一个凸起的弯曲形状。
10．按前述权利要求任一项的装置(1)，其特征为，基片(21、25)的运送装置(1)可进行水平运动。
11．具有一个内孔(20、24)的基片(21、25)用的运送方法(1)，这种方法用一个内孔手爪(2)抓取第一个基片，其特征为：
第一个基片(21)与一个外手爪(3)接触；
通过外手爪(3)抓取基片(21)；
内孔手爪(2)松开；
内孔手爪(2)通过第一个基片(21)的孔(20)运动；
用内孔手爪(2)抓取第二个基片(25)。
12．按权利要求11的方法，其特征为，通过一个垂直运动使第一个基片(21)与外手爪(3)接触。
13．按权利要求11或12的方法，其特征为，通过内孔手爪(2)的升起来实现第一个基片(21)与外手爪(3)的接触。
14．按权利要求11～13任一项的方法，其特征为，第一个基片和/或第二个基片(21、25)的抓取用内孔手爪(2)进行气动控制。
15．按权利要求11～14任一项的方法，其特征为，第一个基片(21)的抓取通过外手爪用负压进行。
16．按权利要求11～15任一项的方法，其特征为，第一个基片(21)在边丝区域被第二个基片(25)弄弯。
17．按权利要求11～16任一项的方法，其特征为，内孔手爪(2)和外手爪(3)进行水平运动。
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