[发明专利]真空装置

权利要求书

1．一种真空装置，其包括：

真空室，

旋转轴，它通过第一空气轴承安装在一支承体上，该第一空气轴承设置在真空室内部，

第二旋转轴，它贯穿真空室外壳的壁，并通过一第二空气轴承安装于其中，

其特征在于：第二轴沿着其旋转轴线是空心的，并且该空心部分与第一空气轴承中的至少一个空气输出连通，用于除去从第一空气轴承中排出的空气。

2．按照权利要求1所述的真空装置，其特征在于：第一空气轴承支承磁盘录制系统的转盘。

3．按照权利要求2所述的真空装置，其特征在于：第一空气轴承是可相对于磁盘录制系统的录制头活动的。

4．按照权利要求1-3其中之一所述的真空装置，其特征在于：第一空气轴承是可绕第二空气轴承旋转的。

5．按照上述权利要求其中之一所述的真空装置，其特征在于：在第二轴内部的至少一个输入管道与第一空气轴承的空气输入连通，用于将空气供给第一空气轴承。

6．按照上述权利要求其中之一所述的真空装置，其特征在于：第一空气轴承设置在一第二室内部。

7．按照权利要求6所述的真空装置，其特征在于：在第二轴空心部分内部的电缆和/或管道与第二室连通，用于将电信号传送到第二室。

8．按照上述权利要求其中之一所述的真空装置，还包括一个粗抽管道，其中，粗抽管道是一个输出管道，它将空气输出从第一空气轴承连接到真空源上。

9．按照权利要求8所述的真空装置，从属于权利要求6，其特征在于：将粗抽管道在第一空气输出的输入端和密封装置之间，从第一空气轴承连接到第二空气输出上，该密封装置在第二室和真空室之间密封。

10．按照上述权利要求其中之一所述的真空装置，还包括一个粗抽管道，它将空气输出从第二空气轴承连接到真空源上。