[发明专利]用于自动在线浴槽分析系统的收集器无效

专利信息
申请号: 99807176.5 申请日: 1999-06-04
公开(公告)号: CN1305584A 公开(公告)日: 2001-07-25
发明(设计)人: 肯尼思·A·鲁思;菲利普·R·施密特 申请(专利权)人: MEMC电子材料有限公司
主分类号: G01N1/20 分类号: G01N1/20;G01N33/18;H01L21/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王景林
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
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【权利要求书】:

1.收集器,它供在从至少一个液体源中收集液体样品用,该收集器用于通过一自动样品收集装置收集样品,收集器包括:

至少一个容器,以便接收来自上述至少一个液体源中的液体并装入用于一些得到样品的液体,该容器具有一个入口和一个敞开的顶部,上述入口用于接收液体流入容器,而敞开的顶部加工成一定尺寸,以便让样品收集装置进入容器;

一个溢流道,它与容器敞开的顶部成流体连通,用于接收溢出容器敞开项部的过量液体;

一个排出管道,设置它用于接收从溢流道出来的液体,该排出管道用于排出收集器中的液体。

2.如权利要求1所述的收集器,其特征在于,每个容器制成用于与上述至少一个液体源连续敞开的流体连通,供连续从上述至少一个液体源中进入新的液体,因而适合于连续更新装在其中的液体。

3.如权利要求2所述的收集器,其特征在于,该收集器还包括一个口,用于连接到上述至少一个液体源上,该孔制成与容器永久敞开的流体连通,该收集器不能阻碍从上述至少一个液体源经由孔到容器的流体连通。

4.如权利要求3所述的收集器,其特征在于,该收集器还包括一个入口,该入口连接孔和容器,入口加工成一定尺寸,以便控制液体从上述至少一个液体源流入容器的流速。

5.如权利要求1所述的收集器,它具有多个容器和溢流道,用于对多个液体源中的液体取样,每个溢流道都与一对应的容器相关联。

6.如权利要求5所述的收集器,具有一个废液槽,该废液槽与溢流道成流体连通,用于运走在溢流道下面流动的溢流液体。

7.如权利要求1所述的收集器,其特征在于,各容器配置成以选定的间距间隔开的一排,以便于样品收集装置的操作。

8.样品收集和分析系统,它供监测至少一个液体源中液体的内容物用,该系统包括:

一个排放管道,它适合于与液体源连续式敞开的流体连通;

一个收集器,它与排放管道成连续式敞开的流体连通,该收集器包括至少一个容器,以便通过排放管道接收上述至少一个液体源中的液体,并装入一些得到样品的液体,容器具有一个入口,该入口用于接收液体从排放管道和敞开的顶部进入容器;

排放管道和收集器设有能阻碍液体从上述至少一个液体源流到收集器容器的结构,因而在系统连接到上述至少一个液体源上时,液体连续地流入容器;

一个样品收集装置,它用于收集容器中的液体样品,容器加工成一定尺寸,以便能在其中接受样品收集装置;和

一个液体分析装置,它用于接收样品收集装置中的液体,并对液体杂质含量进行自动分析。

9.如权利要求8所述的样品分析和收集器系统,其特征在于,收集器还包括一个孔,用于与上述至少一个液体源连接,该孔制成与容器永久敞开的流体连通,该收集器不能阻碍从上述至少一个液体源经由孔到容器的流体连通。

10.如权利要求9所述的样品分析和收集器系统,其特征在于,收集器还包括一个连接孔和容器的入口,该入口加工成一定尺寸,以便控制液体从上述至少一个液体源流入容器的流速。

11.如权利要求8所述的分析和收集器系统,具有多个容器和溢流道,该系统用于取样多个液体源中的液体,每个溢流道与一相应的容器相关联。

12.如权利要求11所述的收集器,具有一个废液槽,它与溢流道成流体连通,用于运走在溢流道下面流动的溢流液体。

13.如权利要求8所述的收集器,其特征在于,各容器配置成一排并以选定的间距间隔开,以便于样品收集装置操作。

14.如权利要求8所述的收集器,其特征在于,液体源是半导体片洗涤浴槽,和液体是洗涤溶液。

15.用于收集和分析至少一个液体源中液体中杂质含量的方法,该方法包括:

将上述至少一个液体源中的液体经由一排放管道连续地排入收集器的容器中,容器在其底部处有一入口,用于从排放管道和敞开的顶部接收液体进入容器;

将液体连续地从入口输送到容器内直到容器敞开的顶部,以便液体连续地从容器底部流到敞开的顶部,并连续地溢出容器的顶部,流入收集器的溢流道中;

利用自动样品收集装置从容器中抽吸出液体样品,将容器加工成一定尺寸,以便能在其中接纳样品收集装置;

将样品收集装置中的样品放入液体分析装置中;并分析液体的杂质含量。

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