[发明专利]微粒收集设备及有关方法

权利要求书

1、一种微粒产生系统，包括：

一个微粒合成设备，其包括：

一个与外部空气相隔绝的反应室，反应室拥有一个向反应室供应反应剂的反应剂入口，和一个产品微粒排出反应室的产品出口；

一个微粒收集设备，其包括：

一个室，其拥有一个入口、一个气体出口和一个微粒排出管；

一个室内过滤器，这样过滤器就阻止从入口至气体出口的气流路径，从过滤器清除的微粒就会流向微粒排出管；

一个微粒清除系统，对过滤器施加作用力，从过滤器清除微粒，

其中：微粒合成设备的出口与微粒收集设备的入口是流体联通的。

2、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒合成设备还包括一个红外激光器。

3、按照权利要求2所述的微粒产生系统，其特征在于：反应室包括一个反应剂入口，它产生与来自激光的激光束相横切的反应剂气流。

4、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒收集设备的室的内部压力小于约700托。

5、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒收集设备的室的内部压力在约80托至约500托之间。

6、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒清除系统包括一个反向压力系统，它向过滤器施加大量气体，阻止气流从入口流向出口。

7、按照权利要求6所述的微粒产生系统，其特征在于：还包括多个室内附加过滤器，这样附加过滤器就会阻止从入口到气体出口的气流路径，从附加过滤器清除的微粒就会流向微粒排出管。

8、按照权利要求7所述的微粒产生系统，其特征在于：反向压力系统包括一个控制器，它操作阀产生一个对着多个过滤器子设备的气体脉冲。

9、按照权利要求6所述的微粒产生系统，其特征在于：反向压力系统包括一个脉冲阀。

10、按照权利要求9所述的微粒产生系统，其特征在于：脉冲阀包括一个膜阀。

11、按照权利要求9所述的微粒产生系统，其特征在于：脉冲阀供应一个约10毫秒至500毫秒之间的气体脉冲。

12、按照权利要求1所述的微粒产生系统还包括一个与微粒收集设备的气体出口相连的泵。

13、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒合成设备产生平均直径小于约1000纳米的微粒。

14、按照权利要求1所述的微粒产生系统，其特征在于：微粒清除系统包括一个对过滤器施加作用力的机械振动系统。

15、一种微粒收集设备，包括：

一室，其有一个入口、一个气体出口、一个微粒排出管，其中室内压力小于约700托；

一个室内过滤器，这样过滤器阻止从入口到气体出口的气流路径，从过滤器清除的微粒就流向微粒排出管；

一个微粒清除系统，其对过滤器施加作用力，从过滤器清除微粒。

16、按照权利要求15所述的微粒收集设备，其特征在于：室内压力小于约500托。

17、按照权利要求15所述的微粒收集设备还包括多个室内附加过滤器，这样附加过滤器会阻止从入口到气体出口的气流路径，从附加过滤器清除的微粒就会流向微粒排出管。

18、按照权利要求15所述的微粒收集设备，其特征在于：微粒清除系统包括一个反向压力系统，对过滤器施加气体脉冲，防止气体流从入口流向气体出口。

19、一种使用微粒收集设备从气流收集微粒的方法，微粒收集设备包括一室、一个室内过滤器、和一个对过滤器施加脉冲以清除微粒的反向压力系统，该方法包括：

建立一个小于约700托的室内压力；

使带有微粒的气流流向室，以便室内压力维持在小于约700托；

收集从气流中清除的微粒。

20、按照权利要求19所述的方法，其特征在于：从与外部空气隔离的微粒产生设备引导流向室的气流。