[发明专利]扫描仪系统

权利要求书

1.一种扫描方法，用于将图案写在平面上，包括：

提供一扫描光束，包括多个独立可编址子光束；

以该扫描光束扫描平面若干次，该子光束于交叉扫描方向并扫描平面，每一该子光束是经调谐，以反射待写入的数据；及

重叠光束，使得在至少二次扫描期间，平面的所有写入区域皆予以写上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入三次。

3.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入四次。

4.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入六次。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入八次。

6.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入十二次。

7.根据权利要求1所述的方法，其中该写入区域至少写入二十四次。

8.根据前述权利要求中任一项的方法，其中光束是通过独立调谐一椭圆光束的个别段而形成，该段包括该子光束。

9.根据权利要求8所述的方法，其中独立调谐包括：

提供一椭圆光束，在长度方向具有可使用的范围；及

提供沿着该长度方向的多个调谐段，该段的总范围大于可使用的范围。

10.根据权利要求1至7项中任一项的方法，其中子光束是独立产生，且包含结合子光束以形成该光束。

11.根据前述权利要求中任一项的方法，其中至少二次独立可编址子光束的未调谐能量不同。

12.根据权利要求11所述的方法，其中未调谐能量通常为高斯形。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中光束的调谐为二进制、通断式调谐。

14.根据前述权利要求中任一项的方法，其中将一具有最小特性尺寸的图案写入，且子光束之间隔实质上小于特性尺寸。

15.根据权利要求14所述的方法，其中最小特性尺寸至少为子光束范围的四倍大。

16.根据权利要求14或15所述的方法，其中最小特性尺寸小于或等于约77微米。

17.根据权利要求14或15所述的方法，其中最小特性尺寸小于或等于51微米。

18.根据权利要求14或15所述的方法，其中最小特性尺寸小于或等于约39微米。

19.根据前述权利要求中任一项的方法，其中子光束在该平面相隔一预定距离，且子光束具有一在平面而在邻近光束方向的范围，且范围大于间隔。

20.根据权利要求19所述的方法，其中间隔小约15微米。

21.根据权利要求19所述的方法，其中间隔小于约10微米。

22.根据权利要求19所述的方法，其中间隔约为6.35微米。

23.根据权利要求19所述的方法，其中间隔小于约6.35微米。

24.根据权利要求19至23所述的任一项的方法，其中范围至少是间隔的二倍。

25.根据权利要求24所述的方法，其中范围至少是间隔的三倍。

26.根据权利要求19至25项中任一项所述的方法，其中范围大于约6.35微米。

27.根据权利要求19至25所述任一项的方法，其中范围大于或等于约12.7微米。

28.根据权利要求19至25所述任一项的方法，其中范围大于或等于约19微米。

29.根据权利要求19至25中任一项所述的方法，其中范围大于或等于约25.4微米。