[发明专利]具有钝化膜的半导体器件无效
| 申请号： | 99808413.1 | 申请日： | 1999-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1135493C | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | J·维勒尔;P·－W·冯巴瑟;T·谢特尔 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;H01L21/314 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马铁良;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 钝化 半导体器件 | ||
【权利要求书】：
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