[发明专利]电绝缘子制造方法

权利要求书

1．一种电绝缘子(45)的制造方法，其中在绝缘子的成形件上镀疏水的等离子体聚合物镀层，此方法有下列步骤：

-将成形件装入等离子体反应器(1)可抽真空的一腔室(2)内；

-将腔室(2)抽成真空；

-往腔室(2)内引入一种非极性的或具有非极性族的工作气体；

-在连续气流的情况下将腔室(2)内的工作压力调整在1·10^-5mbar与5·10^-5mbar之间；

-通过产生一个电场由工作气体形成一种等离子体，其中，每单位腔室容积加入的电功率调整在0.5KW/m³与5KW/m³之间，以及每单位腔室容积的气流调整在10sccm/m³与1000sccm/m³之间；

-等离子体至少维持到由工作气体的等离子体形成的等离子体聚合物(50)在成形件表面构成一闭合的镀层时为止；

-切断电场，从腔室(2)内取出完成镀层的绝缘子。

2．按照权利要求1所述的制造方法，其特征在于：每单位腔室容积供入的电功率调整在1KW/m³与3.5KW/m³之间。

3．按照权利要求1或2所述的制造方法，其特征在于：每单位腔室容积的气流调整在20sccm/m³与300sccm/m³之间。

4．按照权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其特征在于：等离子体维持到等离子体聚合物镀层的层厚在100nm与10μm之间时为止。

5．按照权利要求1至4中任一项所述的制造方法，其特征在于：在腔室(2)抽真空时以这样的方式计量在腔室(2)内含氧的气体，尤其是空气，即，使腔室(2)内暂时存在1与5mbar之间的压力，与此同时在腔室(2)的气体内点燃净化用的等离子体，时间持续1秒与5分钟之间。

6．按照权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于：所述等离子体被周期性点燃。

7．按照权利要求6所述的制造方法，其特征在于：等离子体以0.1至100Hz的频率被点燃。

8．按照权利要求1至7中任一项所述的制造方法，其特征在于：等离子体借助于往装在腔(2)内的电极上施加电压被点燃。

9．按照权利要求1至8中任一项所述的制造方法，其特征在于：以一个频率在1kHz与5GHz之间的交变电场作为所述电场。

10．按照权利要求1至9中任一项所述的制造方法，其特征在于：在腔室(2)内存在的工作压力在1·10^-3与1·10^-1mbar之间。

11．按照权利要求1至10中任一项所述的制造方法，其特征在于：采用一种碳氢化合物，尤其是乙炔和/或甲烷作为工作气体。

12．按照权利要求1至10中任一项所述的制造方法，其特征在于：采用一种硅有机化合物或氟有机化合物作为工作气体。

13．按照权利要求12所述的制造方法，其特征在于：采用六甲基二硅氧烷、四乙基原硅酸盐、乙烯基三甲基甲硅烷或八氟环丁烷或它们的混合物为工作气体。

14．按照权利要求1至13中任一项所述的制造方法，其特征在于：在工作气体内添加一种附加气体。

15．按照权利要求14所述的制造方法，其特征在于：添加惰性气体、卤素，尤其是氟、氧或氮或它们的混合物作为附加气体。

16．按照权利要求1至15中任一项所述的制造方法，其特征在于：所述绝缘子是一种高压绝缘子(45)，尤其是一种杆式绝缘子。

17．按照权利要求1至16中任一项所述的制造方法，其特征在于：成形件由一种焙烧的陶瓷(48)、上釉的焙烧陶瓷(48)、玻璃或一种塑料，尤其由硅酮橡胶、环氧树脂或玻璃纤维强化塑料制成。