[发明专利]小珠处理卡盘的AC波形偏置无效
| 申请号： | 99809528.1 | 申请日： | 1999-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1121261C | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | H·C·孙;D·S·罗萨蒂;E·S·波利尼尔克;B·辛格;N·V·德赛 | 申请（专利权）人： | 德尔西斯药品公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B05D1/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 陈霁,陈景峻 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 小珠 处理 卡盘 ac 波形 偏置 | ||
【权利要求书】：
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