[发明专利]光电子学的金属基本组成部件

权利要求书

1．一种给提供具有图案的基本组成部件的方法，所述基本组成部件如具有例如光纤专用槽之类的图案的载体，其特征在于金属电镀制有图案的硅板；蚀刻硅板；给形成的金属图案涂上感光材料；用光掩膜和光能确定金属图案的界限，从而形成腔；金属电镀形成的腔，以形成包括例如槽之类的图案的金属基本组成部件；其中为了专用作光纤载体或微型结构基本组成部件，所述基本组成部件可与金属分开，可再产生和再使用所述腔以形成新的基本组成部件。

2．一种制有图案的基本组成部件，例如具有如光纤专用槽之类的图案的载体，其特征在于，由金属电镀的制有图案的硅板，通过蚀刻用光掩膜(6)和想要的能量已经限定界限的金属图案(3)，提供为了金属电镀而形成专用金属基本组成部件的腔(9)，所述专用金属基本组成部件呈现与硅板相同的图案，其中可再产生和再使用所述腔以形成新的基本组成部件。

3．如权利要求2所述的基本组成部件，其特征在于所述硅板的制有图案的平面具有能使电镀加工开始的薄金属层(2)。

4．如权利要求3所述的基本组成部件，其特征在于金属层(2)涂有隔离层(4)。