[发明专利]高分辨分析探测台

权利要求书

1．一种将电测试信号提供给集成电路样品的探测台系统，其特征在于包含：

平台装置，用于将观察样品暴露导电端子的表面的扫描电子显微镜安置在样品上；

台阶装置，用于为扫描电子显微镜支撑样品；

成象装置，用于从扫描电子显微镜获得确定样品表面传导通路标记的图像；

探针控制装置，用于通过所述装置遥控多个探针，以获得图像，而传送可以在样品表面上定位的电测试信号；

真空室装置，用于在具有容纳样品的内壳的室内产生真空；和

馈电导体装置，用于通过真空室上的馈电导体，将来自所述获得图像装置的电信号耦合到所述遥控多个探针的装置，所述成象装置与所述探针控制装置通信，以遥控多个探针而将电测试信号施加给样品上的端子，其中使月获得的图像，从使用扫描电子显微镜观察到的样品的表面的传导通路标记确定导电端子。

2．如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述台阶装置耦合到压盘，允许升高和降低多个探针，有助于通过所述成象装置观察。

3．如权利要求1所述的系统，其特征在于用于获得图像的所述图像装置包含第一计算机。

4．如权利要求1所述的系统，其特征在于包含第二计算机，用于遥控多个探针的所述探针控制装置包含由所述第二计算机遥控的电动操纵器。

5．如权利要求3所述的系统，其特征在于用于遥控多个探针的所述探针控制装置包含由所述第一计算机遥控的电动操纵器。

6．如权利要求3所述的系统，其特征在于所述压盘包含集成电路晶片。

7．一种用于从集成电路样品获得电测试信号的探测台系统，其特征在于包含：

扫描电子显微镜，安置得观察样品暴露其导电端子的表面；

托盘，用于为扫描电子显微镜支撑样品；

计算机，用于从所述扫描电子显微镜获得确定样品表面的传导通路标记的图像；

电动操纵器，由所述计算机遥控；

多个探针，用于传送可通过所述电动操纵器在样品表面上定位的电测试信号；

真空室，具有用于容纳所述扫描电子显微镜、所述托盘、所述电动操纵器和用于在真空中分析所述样品的所述多个探针的内壳；和

所述真空室上的馈电导体，用于将来自所述计算机的电信号耦合到所述电动操纵器和所述多个探针；所述计算机与所述电动操纵器通信，以使用所述计算机获得的图像，将所述施加和接收电测试信号的多个探针通过端子定位在样品上，以从通过所述扫描电子显微镜观察的样品的表面的传导通路标记确定导电端子。

8．如权利要求7所述的系统，其特征在于所述托盘包含屏蔽的集成电路卡盘，用于支撑晶片样品。

9．如权利要求7所述的系统，其特征在于所述托盘包含热卡盘。

10．如权利要求7所述的系统，其特征在于用于获得图像的所述计算机包含个人计算机(PC)。

11．如权利要求7所述的系统，其特征在于包含耦合到所述托盘的电动频带，所述平台为装置和探针观察而提供所述托盘的平移翻转和倾斜移动。

12．如权利要求7所述的系统，其特征在于所述计算机包含与所述扫描电子显微镜关联的图形处理器。

13．如权利要求7所述的系统，其特征在于所述计算机是通用的个人计算机。

14．如权利要求7所述的系统，其特征在于用于遥控所述多个探针的装置包含由所述个人计算机遥控的电动操纵器。

15．如权利要求14所述的系统，其特征在于所述遥控多个探针的装置包含多个电动操纵器。

16．如权利要求7所述的系统，其特征在于所述多个探针包含将电测试信号施加到样品的固定位置探针。