[发明专利]过滤器滤芯组件

说明书

发明领域

本发明总体来说涉及过滤器滤芯组件，更具体地说涉及用于气体吹扫(gas purging)系统的过滤器滤芯组件。

相关现有技术的叙述

例如作为标准机械接口(SMIF)盒或箱的组件隔离室可以是各种尺寸及构型的，但在贮存、运输和材料加工过程中，一般都提供了小环境来隔离和控制环绕集成电路制造中所使用的晶片、晶片盒或基片的环境。这类材料的加工通常在一般称为“绝对无尘室”的无尘环境中进行。然而，将这种“绝对无尘室”保持在无污染物的状态需要大量的细心管理和努力，特别是在材料的加工过程中。

在其中使用SMIF系统来取代传统的绝对无尘室的一种通用系统中，在SMIF盒中循环过滤过的空气，并使用静止空气来在SMIF盒中实现无尘化。还公知有吹扫系统，其中制造材料经受冷氮气吹扫循环。清洁集成电路晶片所用的另一种通用方法和装置是采用干燥的气体。它仍需要用于SMIF箱的过滤器滤芯组件，以常规的方式或在需要时，将过滤器滤芯组件可容易地从SMIF箱中取出和置换，以持续防止气体泄露到SMIF箱中，在制造设备中当操作SMIF箱过程时经止回阀泄露，以便在SMIF箱中保持所需的灰尘量。本发明满足这些需要。

发明简述

简要且总体来说，本发明提供了用于SMIF箱中的过滤器滤芯组件，以有助于保证清洁、气态的工作流体进入SMIF箱，从而提供环绕SMIF箱内容物的具有很低灰尘含量的控制环境。

对应的，本发明提供了一种过滤器滤芯组件，所述组件包括具有内部流道的阀体，所述内部流道具有入口和出口，在所述阀体中设置有与所述内部流道交叉的过滤元件，所述组件还包括位于所述内部流道中的阀座。所述过滤元件包括过滤介质，它最好以约99.9999％的效率除去小至0.003微米的颗粒。

在所述内部流道中设置有与阀座相邻的阀元件如止回阀元件。所述止回阀元件具有止回阀托架和阀杆，所述托架朝出口端取向，所述阀杆朝入口端取向。所述阀座具有环形支持面，其相对于阀体的纵轴以斜角向内朝入口端逐渐变小。所述止回阀托架具有小于阀座内径的外径，并具有较窄的颈部，所述颈部内径小于止回阀托架的外径。所述止回阀托架的表面也优选从止回阀托架的出口端朝所述颈部，相对于所述阀体的纵轴以斜角向内逐渐变小，所述斜角与所述环形支持面的斜角基本相等。在位于支持面上游的阀杆上的法兰、与面向过滤器滤芯入口端并位于支持面上游的内部凸肩之间设置有弹簧，以使止回阀元件朝阀体的入口端偏压，从而关闭流道。在止回阀托架的较窄颈部上还设置有可变形的有弹性的O形环，所述O形环外径优选大于所述阀座环形支持面的内径。另外，其它类型的阀元件如蝶形阀也是适用的。

通过以下以本发明特征实施例方式叙述的详细说明和附图，可显而易见本发明的这些及其它方面和优点。

附图简要说明

图1是本发明过滤器滤芯组件的横断面正视图；

图2是图1过滤器滤芯组件的断面透视图；

图3是图1过滤器滤芯组件底侧的分解图；

图4是图1过滤器滤芯组件顶部的分解图；和

图5是构成本发明过滤器滤芯组件的SMIF箱的部分剖面图，简要图示了设置SMIF箱来过滤流经SMIF箱的气态工作流体。

优选实施方案的详细说明

过滤过的气体或空气可在标准机械接口盒中循环，以从所述盒中吹扫出污染物，以常规方式或在需要时，要求这些污染物的过滤器可容易简便地进行更换，以防止气体泄露入SMIF箱中，从而在所述容器中保持所需的灰尘量。

如在附图中所示的，本发明具体体现为一种过滤器滤芯组件，用来持续地防止气体泄露入SMIF箱中，例如在制造设备中在SMIF箱的操作过程中经止回阀泄露，以在SMIF箱中保持所需的灰尘量。参照图1至4，本发明提供了具有壳体或本体12的过滤器滤芯组件10，所述壳体或本体12具有纵轴13，所述组件10还具有入口端14、出口端16、和在所述本体中形成的由所述入口端延至所述出口端的内部流道17。在目前优选的实施方案中，所述本体由聚碳酸酯塑料制成。所述过滤器滤芯组件包括阀元件，例如位于所述内部流道内的止回阀18，所述止回阀充许气态工作流体从入口端至出口端的单向流动。整体定向流动止回阀优选的在很低的压力差下来启动，通常低于10毫巴。内部流道的内表面构成了阀座20，并包括朝向出口端的支持面22。所述支持面优选的相对于所述阀体的纵轴以斜角向内朝入口端逐渐变小。在所述内部流道中邻近并在朝向入口端的阀座的上游优选的形成凸肩24。另外，其它类型的阀元件如蝶形阀也是适用的。