[发明专利]等离子体增强的真空汽相淀积系统,包括使固体蒸发,产生电弧放电,以及测量电离和蒸发的系统

权利要求书

1.一种用于连续地熔化和蒸发固体材料的系统，包括：

一个熔化坩埚，用于接收和熔化固体材料，以形成熔化材料；和

一个蒸发坩埚，用于蒸发熔化材料，该蒸发坩埚与熔化坩埚流通地连接到熔化坩埚，以从熔化坩埚接收熔化材料，并且具有一个开口，以随着熔化材料蒸发，用于释放蒸气。

2.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中熔化坩埚具有一个开口，用于接收固体材料，并且该熔化和蒸发系统还包括一个供给器，以随着熔化材料蒸发，把固体材料供给熔化坩埚。

3.如权利要求2的熔化和蒸发系统，其中随着熔化材料蒸发，供给器自动地把固体材料供给熔化坩埚。

4.如权利要求3的熔化和蒸发系统，其中供给器把固体材料供给熔化坩埚，以便在熔化材料的蒸发期间，使蒸发坩埚中的熔化材料保持在大致恒定的液面。

5.如权利要求1的熔化和蒸发系统，还包括：

一个熔化坩埚加热器，以使熔化坩埚加热到第一温度，并且使熔化坩埚中的固体材料熔化；和

一个蒸发坩埚加热器，以使蒸发坩埚和蒸发坩埚中的熔化材料加热到不同于第一温度的第二温度，以使熔化材料蒸发。

6.如权利要求5的熔化和蒸发系统，其中蒸发坩埚加热器与熔化坩埚加热器可独立地控制。

7.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中安排蒸发坩埚，以便在熔化材料的蒸发期间，使熔化材料在蒸发坩埚中保持大致恒定的液面。

8.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中蒸发坩埚是一个导管，安排该导管，以便熔化材料通过该导管从熔化坩埚流到蒸发坩埚中的蒸气释放开口。

9.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中安排熔化坩埚和蒸发坩埚，以便熔化坩埚使熔化材料保持在第一液面，并且蒸发坩埚使熔化材料保持在和第一液面相同的第二液面。

10.如权利要求9的熔化和蒸发系统，其中熔化坩埚和蒸发坩埚并排安排，并且蒸发坩埚是一个导管，安排该导管，以便熔化材料通过该导管从熔化坩埚流到蒸发坩埚中的蒸气释放开口。

11.如权利要求9的熔化和蒸发系统，还包括一个液面监视器，用于监视熔化坩埚中的固体材料和熔化材料的液面。

12.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中安排熔化坩埚和蒸发坩埚，以便熔化坩埚使熔化材料保持在第一液面，而蒸发坩埚使熔化材料保持在比第一液面高的第二液面，并且蒸发坩埚通过毛细作用，使熔化材料从熔化坩埚通过蒸发坩埚吸到蒸气释放开口。

13.如权利要求11的熔化和蒸发系统，其中蒸发坩埚是一个导管，该导管至少部分地安排在熔化坩埚中，以便熔化材料通过导管从熔化坩埚流到蒸发坩埚中的蒸气释放开口。

14.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中安排熔化坩埚和蒸发坩埚，以便熔化坩埚使熔化材料保持在第一液面，而蒸发坩埚使熔化材料保持在比第一液面高的第二液面，并且蒸发坩埚通过热虹吸力，使熔化材料从熔化坩埚通过蒸发坩埚吸到蒸气释放开口。

15.如权利要求14的熔化和蒸发系统，其中：

蒸发坩埚是一个导管，它至少部分地安排在熔化坩埚中，具有一个伸到熔化坩埚中的固体和熔化材料的液面之上，达到蒸气释放开口的上部，以便熔化材料从熔化坩埚通过导管流到蒸发坩埚中的蒸气释放开口；并且

该熔化和蒸发系统还包括：

一个熔化坩埚加热器，以使熔化坩埚加热到第一温度，并且使熔化坩埚中的固体材料熔化；和

一个蒸发坩埚加热器，以使蒸发坩埚和蒸发坩埚中接近蒸气释放开口的熔化材料加热到不同于第一温度的第二温度，以使熔化材料蒸发。

16.如权利要求1的熔化和蒸发系统，其中熔化坩埚比蒸发坩埚大。

17.如权利要求1的熔化和蒸发系统，还包括一个热屏蔽，至少覆盖熔化坩埚的一部分。

18.如权利要求1的熔化和蒸发系统，还包括多个蒸发坩埚，用于蒸发熔化材料，每一蒸发坩埚与熔化坩埚流通地连接到熔化坩埚，以从熔化坩埚接收熔化材料，并且各有一个开口，以随着熔化材料蒸发，用于释放蒸气。