[发明专利]头支撑机构及其制造方法、信息记录/重现设备

说明书

本发明涉及一种头支撑机构；一种信息记录/重现设备，包括该相同的头支撑机构；及一种制造该头支撑机构的方法。本发明尤其关于一种包括微动驱动装置的头支撑机构、包括该相同之头支撑机构的信息记录/重现设备及制造该头支撑机构的方法。

作为信息记录/重现设备的磁盘设备，由于其大容量、高传输速率和高速随机存取能力，已被用作主要的计算机外部存储设备。特别是，最近明显有一种向更大容量磁盘设备发展的趋势，其密度以60％的年增长速率增长。相应地，需要降低记录在磁盘中的位单元的尺寸，由此导致需要更窄的磁道。例如，为获得20-40Gbits/in²的面记录密度，预期需要0.35um或更小的亚微磁道间距。为了在如此窄的磁道上稳定记录与重现信号，一直在寻求精确和高速的磁道控制。

典型地，传统的磁盘设备具有一个用于记录和重现磁盘媒体上信息的磁头、运送该磁头的滑动器(slider)、经由该滑动器支撑磁头的磁头支撑机构、以及用于使得磁头能通过该磁头支撑机构跟踪到达磁盘媒体上预定位置的驱动装置。在传统的磁盘设备中，该驱动装置通常为单级旋转音圈电机(VCM)。

这种单级驱动装置限制了对上述亚微量级窄磁道间距进行高精度跟踪的实现。已经发明了其中除了使用第一级或主驱动装置外，还使用第二级微动驱动装置的多种技术。象这种两级受控激励器，已被设计有磁头支撑机构(即悬挂装置)被驱动的模式、滑动器被驱动的模式、磁头元件被安装在滑动器上的模式等等。

磁盘设备的磁头支撑机构的功能包括克服由邻近浮动(proximityfloating)引起的作用于滑动器的力将该滑动器压向磁盘，或与旋转磁盘接触，使该滑动器跟踪波动的盘面等。因此，该磁头支撑机构由多个组件构成，以便将这些功能分配给该各个组件。承担前一功能的组件被称之为负载梁(load beam)。承担后-功能的组件被称之为挠性件(flexure)或万向接头(以后称之为“挠性件”)。

日本公开的专利第9-73746号公开了一种包括微动驱动装置使得沿负载梁的纵向在其一个表面上并列提供第一与第二压电薄膜、面向相反表面提供第三和第四压电薄膜的磁头支撑装置。然而，为获取使得能够在该结构中跟踪的大位移，有必要逆实质的内平面刚度而扩大或收缩(变形)该压电薄膜，这需要高驱动电压(如50V)，因为该压电薄膜扩大或收缩的方向(位移方向)在该压电薄膜的平面之内。

日本机械工程师协会第75次例行会议演讲论文集(Ⅳ)(1998年，3月31日-4月3日，东京)第208-209页公开了一种安装于滑动器背面的两极受控激励器。它相当于其中使用压电陶瓷作为微动驱动装置的驱动模式，且其中采用多层结构以降低驱动电压。设计成包括很多层的多层结构目的是降低驱动电压。在这种情况下，压电陶瓷的扩大和收缩方向也都在该压电陶瓷多层结构的平面内。因此，需要逆实质的内平面刚度扩大或缩小(变形)该压电陶瓷，这非常不利地要求有相当高的应用驱动电压(例如20V)，类似于上述日本公开专利号9-73746所公开的传统实例。因为该两极受控激励器为要安装于滑动器背面的那种，所以增加了磁盘设备的在其高度方向上的厚度，妨碍了该磁盘设备尺寸和厚度的缩减。

上述传统的微动驱动装置需使用几十伏的应用驱动电压。然而磁盘设备中典型的重现信号通常在微伏量级，而用于上述传统微动驱动装置的驱动电压在几十伏的量级。因此，可以预料由于微动驱动装置的驱动，会对重现信号有一些影响。

由上述的传统实例，可能很难获得用于沿跟踪方向跟踪的大位移，或者可能需要高驱动电压来获得一大位移，表现出低驱动效率的问题。

而且，从减小磁盘设备的大小和重量的角度来看也存在结构上的劣势。本发明的目的就是为解决这些传统问题。

本发明的目的在于提供：一种头支撑机构，该头支撑机构包括微动驱动装置，该微动驱动装置实现高速、高精度的跟踪以与增大的表面记录密度所要求的窄道间距相适应，同时该微动驱动装置易于制造且可由实用范围的低驱动电压来驱动；一种信息记录/重现设备，它包括该相同的头支撑机构；及一种制造该头支撑机构的方法。

本发明的技术方案如下：

根据本发明的头支撑机构包括：一头和一用于携带该头的滑动器，该头由主驱动装置使其进行跟踪，其中：该头支撑机构还包括驱动子装置，该驱动子装置包括一薄膜并使得该头可作微小移动；及该驱动装置通过利用薄膜的挠性变形使头作微小移动。结果，本发明的前述目的得以实现。

该薄膜的膜厚度可以等于或小于10μm。