[发明专利]肟衍生物及其作为潜酸的用途

说明书

本发明涉及新的肟衍生物，含有所述化合物的可光聚合的组合物和该化合物作为可被光照活化的潜酸的用途。

在US4540598中公开了基于感光性肟磺酸盐和常规酸固化树脂的表面涂料组合物。在EP571330中描述了将α-(4-甲苯-磺酰氧基亚氨基)-4-甲氧基苯甲基氰化物和α-(4-甲苯-磺酰氧基亚氨基)-3-噻吩基甲基氰化物作为潜酸供体的应用于波长340-390nm的正和负光致抗蚀剂中，特别是在水银i线(365nm)辐照区中使用的那些。在GB2306958中报道了将肟-磺酸盐作为潜酸供体应用于波长180-600nm的正和负光致抗蚀剂中，特别是在超过390nm的辐照区中使用的那些。在US5714625中公开了非芳香族α-(烷基磺酰氧基亚氨基)-1-环己烯基乙腈和α-(烷基磺酰氧基亚氨基)-1-环戊烯基乙腈。Ralph B.Davies等人在J.Chem.Eng.Data 8,580(1963)中描述了一些醌肟化合物的制备。

在本领域中，始终存在特别是对于反应性非离子潜酸供体的一种需要，该反应性非离子潜酸供体是热稳定并且化学稳定的，其在光照活化后可用作各种酸催化反应的催化剂，诸如缩聚反应、酸催化的解聚反应、酸催化的亲电取代反应或酸催化的脱保护基。还需要一类化合物，当光照时其转化为酸并且能在抗蚀剂配方中作为溶解抑制剂。此外，还需要可被辐照漂白的光敏潜酸。

现已令人惊奇地发现，特定的肟衍生物非常适合用作这类反应的催化剂。本发明特定化合物的光吸收谱尤其可在宽范围电磁波谱调节。另外，它们可被辐照漂白。

因此，本发明涉及式Ⅰ和Ⅱ的化合物

其中

m是0或1；

R₁是苯基，其未取代或被一个或多个C₁-C₁₂烷基、C₁-C₄卤代烷基、卤素、苯基、OR₆、NR₇R₈、SR₉和/或-S-苯基取代，任选取代基OR₆、SR₉或NR₇R₈通过基团R₆、R₇、R₈和/或R₉与在苯基环上的其它取代基或苯基环碳原子之一一起形成5或6元环，

或R₁是萘基、蒽基或菲基，其是未取代的或被C₁-C₆烷基、苯基、OR₆、NR₇R₈、SR₉和/或-S-苯基取代，任选取代基OR₆、SR₉或NR₇R₈通过基团R₆、R₇、R₈和/或R₉与在萘基、蒽基或菲基环上的其它取代基或萘基、蒽基或菲基环碳原子之一一起形成5或6元环，

或R₁是杂芳基，其未取代或被C₁-C₆烷基、苯基、OR₆、NR₇R₈、SR₉和/或-S-苯基取代，任选取代基OR₆、SR₉或NR₇R₈通过基团R₆、R₇、R₈和/或R₉与在杂芳基环上的其它取代基或杂芳基环碳原子之一一起形成5或6元环，

或如果m是0,R₁另外是C₂-C₆烷氧基羰基、苯氧基羰基、CN、氢或C₁-C₁₂烷基；

R’₁是C₂-C₁₂亚烷基、亚苯基、亚萘基、亚联苯基或氧-亚联苯基，这些基团未取代或被C₁-C₁₂烷基取代；

R₂是CN；

n是1或2；

R₃是C₂-C₆卤代烷酰基、卤代苯甲酰基或基团