[发明专利]通过选择液体粘度和其他前体特性来改善液体淀积的方法

权利要求书

1.一种制造固体材料薄膜(30，50，236，489，492)的方法，包括以下步骤：提供一个基片(12，102，381)以及一种液态前体，所述液态前体在涂敷到基片并被处理时适合于形成所述固体材料薄膜；将所述液态前体涂敷到所述基片上；以及处理所述基片上的所述液态前体，以形成所述固体材料薄膜(30，50，236，489，492)；其特征在于：在所述涂敷步骤之后，改变所述液态前体的物理特性；以及，在所述改变步骤之后，连续地将具有所述已改变的物理特性的液态前体涂敷到所述基片上。

2.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：在所述涂敷和继续涂敷步骤之间具有烘干所述基片上的所述液态前体的步骤。

3.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述改变步骤和继续涂敷步骤至少重复一次。

4.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述改变步骤和继续涂敷步骤是同时进行的。

5.按照权利要求4的方法，进一步的特征在于：所述改变步骤被连续地进行一个预定的时间。

6.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是粘度。

7.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是所述液态前体与所述基片之间的表面张力。

8.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是密度。

9.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是热容量。

10.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是该汽化热。

11.按照权利要求1的方法，进一步的特征在于：所述的物理特性是蒸气压。

12.一种制造固体材料薄膜(30，50，236，489，492)的方法，包括以下步骤：提供一个基片(12，102，381)；提供一个液态前体；以及处理所述基片上的所述液态前体，以形成所述固体材料薄膜(30，50，238，489，492)；其特征在于：在调整所述液态前体的物理特性的同时，涂敷所述液态前体到所述基片上。

13.一种制造固体材料薄膜(30，50，236，489，492)的方法，包括以下步骤：提供一个基片(12，102，381)；将一个液态前体涂敷到一个基片上；以及处理所述基片上的所述液态前体，以形成所述固体材料薄膜(30，50，236，489，492)；其特征在于：提供第一液体和第二液体；使所述第一液体流经第一流体流动控制器(515)，而使所述第二液体流经第二流体流动控制器(535)；以及混合所述第一液体和第二液体，其量由所述第一和第二流体流动控制器决定，以形成所述液态前体。

14.按照权利要求13的方法，进一步的特征在于：调整所述第一流体流动控制器(515)，以在所述涂敷步骤期间改变所述第一液体流经所述第一流体流动控制器的流量。

15.按照权利要求13的方法进一步的特征在于：所述流体流动控制器中的至少一个是体积流量控制器。

16.一种制造固体材料薄膜(30，50，236，489，492)的方法，包括下列步骤：提供一个基片(12，102，381)，它具有包括非平整区域(18，42，44，46，393，396)的基片表面；提供一个液态前体；将所述液态前体涂敷到所述基片上；并且处理所述基片上的所述液态前体，以形成所述固体材料薄膜(30，50，236，489，492)；其特征在于：所述液态前体具有5厘泊或更低的粘度，并且所述固体材料薄膜(30，50，489，492)具有平整的薄膜表面(31，51，235，488，493)。

17.按照权利要求16的方法，进一步的特征在于：所述粘度不超过2厘泊。

18.按照权利要求16的方法，进一步的特征在于：所述粘度在1厘泊与2厘泊之间。

19.按照权利要求1，12，13或16的方法，进一步的特征在于：所述固体材料薄膜(30，50，489)包括一种金属氧化物。