[发明专利]为测试管芯而用会聚束将电磁能传输到功率器件

权利要求书

1.一种在一个具有数个管芯的晶片上无线激活所选管芯的方法，其中，所选管芯可以通过用具有至少第一能级的电磁能冲击而激活，该方法包括：

将第一束电磁能引向所选管芯，其中，所述第一束电磁能以小于所述第一能级冲击所选管芯；

将第二束电磁能引向所选管芯，其中，所述第二束电磁能以小于所述第一能级冲击所选管芯；和

引导所述第一和第二束电磁能，以致于所述第一和第二束电磁能至少部分地交叠在所选管芯上，其中，所述第一和第二束一起以一个至少等于所述第一能级的能级冲击所述第一管芯。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，引导所述第一和第二束电磁能的所述步骤包括：将所述第一和第二束电磁能引导到一个在所选管芯上的导体环，以致于在所述导体环中产生一个电流。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一和第二束电磁能包括射频能束。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，引导所述第一和第二束电磁能的所述步骤包括，引导所述射频能的第一和第二束分别地通过第一和第二波导。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一和第二束电磁能包括分别地围绕第一和第二调制电子束的电磁能。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，引导所述第一和第二束电磁能的所述步骤包括：用带电偏转板引导所述第一和第二电子束。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，引导所述第一和第二束电磁能的所述步骤包括：用偏转线圈引导所述电子束。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，当所选管芯由具有一个至少等于所述第一能级的能级的电磁辐射冲击而被激活时，它辐射电磁信号，并且所述的方法还包括，探测所辐射的电磁信号。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一和第二束电磁能在它们接触管芯的点是相互相干的。

10.一种在一个具有数个管芯的晶片上无线激活所选管芯的方法，其中，所选管芯可以通过用具有至少第一能级的电磁辐射冲击而激活，并且，当所选管芯通过用具有至少等于所述第一能级的能级的电磁辐射冲击而被激活时，它就发射电磁辐射，该方法包括：

将第一束电磁能引向所选管芯，其中，所述第一束电磁能以小于所述第一能级冲击所选管芯；

将第二束电磁能引向所选管芯，其中，所述第一束电磁能以小于所述第一能级冲击所选管芯，并且，所述第二束的电磁能与所述第一束的电磁能在所选管芯处是同相的；和

将第三束电磁能引向所选管芯，其中，所述第三束电磁能以小于所述第一能级冲击所选管芯，并且，所述第三束的电磁能与所述第一束的电磁能在所选管芯处是同相的；

其中，引导所述第一，第二和第三束电磁能的所述步骤包括引导所述第一，第二和第三束的步骤，以致于所述的第一，第二和第三束一起以一个至少等于所述第一能级的能级冲击所选管芯。

11.根据权利要求10所述的方法，进一步包括该步骤：当所选管芯用具有一个至少等于所述第一级的能级的电磁能冲击而被激活时，引导一个由所选管芯发射的电磁信号。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述第一，第二和第三束电磁能包括射频能量束，并且，引导所述第一，第二和第三束电磁能的所述步骤包括引导所述射频能量分别通过第一，第二和第三波导的步骤。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述第一，第二和第三束电磁能包括分别围绕第一，第二和第三电子束的电磁能，并且，引导所述第一，第二和第三束电磁能的步骤包括引导所述第一，第二和第三电子束分别通过第一，第二和第三套带电偏转板的步骤。

14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述第一，第二和第三束电磁能包括分别围绕第一，第二和第三电子束的电磁能，并且，引导所述第一，第二和第三束电磁能的步骤包括引导所述第一，第二和第三电子束分别通过第一，第二和第三套偏转线圈的步骤。

15.根据权利要求10所述的方法，其中，引导所述第一，第二和第三束电磁能的所述步骤包括引导所述第一，第二和第三束电磁能到所选管芯上的导体环，以致于在所述导体环中产生一个电流的步骤。