[发明专利]薄膜的制作方法及制作装置

摘要

本发明是以提高电磁波的隔断、光学特性、电气特性、电气化学特性、机械特性等为目的的,关于薄膜制作方法及制作装置的发明。在本发明中,把真空镀膜(蒸涂、离子束、电子束、等离子束等)和溅镀、离子镀、离子注入法、紫外线辐射和等离子体蚀刻等几种制作薄膜的技术及装置同时或复合地组合在一起,利用一台装置制作薄膜。利用单一的装置生产成品,不但能缩短生产时间和简化生产流程,还极大地提高了产品质量。

主权项

1．一种薄膜制作装置，其特征在于，它包括：一夹具舱移动部(60)，它包括一被水平支承的导轨(61)，带有移动轮(63)的、可在所述导轨(61)上水平移动的垂直旋转轴支架(62)；上端固定在垂直旋转轴支架(62)上的垂直旋转轴(11)；一垂直旋转轴连接架(13)，其固定端(131)连接在垂直旋转轴(11)上，其盘状的两侧端(132,132′)被多个支架(133)连接在一起；安装在垂直旋转轴连接架(13)上的水平旋转轴(12,12′)；对称设置的夹具舱(10)，它们分别包括安装在水平旋转轴(12,12′)上、并将垂直旋转轴连接架(13)的两侧端(132,132′)夹在中间的夹具舱盖(14,14′)，以及固定连接在夹具舱盖(14,14′)上的基板支架舱(15,15′)；工作舱(20)，它上部与移动导轨(61)固定连接，下部与工作舱支架(51)和薄膜移动支架(50)固定连接；薄膜制作部(30)，它包括与工作舱(20)下部连接的薄膜移动支架(50)，可在薄膜移动支架(50)上移动的薄膜制作移动部(70)，与薄膜制作移动部(70)固定连接的、上面设有插入孔的工作舱盖(31)，以及固定在工作舱盖(31)上的、具有多边形中空构造的固定支架(32)；以及固定安装在固定支架(32)上端的真空镀膜装置(33)、外侧上的溅镀装置(34)、离子镀装置(35)、离子注入装置(36)、紫外线辐射装置(37)、等离子体蚀刻装置(38)中的至少一种装置。