[发明专利]喷砂装置的静电导除载具有效
| 申请号： | 00106946.2 | 申请日： | 2000-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1091404C | 公开（公告）日： | 2002-09-25 |
| 发明（设计）人： | 陈铭水;许国彬 | 申请（专利权）人： | 达碁科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/04 | 分类号： | B24C1/04;H01J9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种喷砂装置的静电导除载具。喷砂装置包括基台，滑道设于基台上，以及喷嘴设于滑道上方，静电导除载具可滑动地放置在滑道上，其包括底板，用来承载基板，基板上表面设有多个导电体；以及两导电夹具，分别装设于底板相反两侧，用来将基板向下固定至底板上。其中两导电夹具同时接触基板表面多个导电体，使每一个导电体的电位相等，因此在喷砂制造过程中所产生的静电会经由两导电夹具导出而不会积聚在基板表面的多个导电体上。#! | ||
| 搜索关键词： | 喷砂 装置 静电 | ||
【主权项】：
1.一种喷砂装置的静电导除载具，该喷砂装置至少包括有一基台，一滑道设在该基台上，以及一喷嘴设在该滑道上方，用来进行一喷砂制造过程，该静电导除载具是以可滑动的方式放置在该滑道上，其包括有：一底板，用来承载一待处理的基板，该基板上设有多个第一导电体与多个第二导电体，该多个第一导电体是沿着该基板的第一侧排列，且该多个第二导电体沿着该基板的第二侧排列；以及两导电夹具，分别装设于该底板的第一侧与第二侧，用来将该基板固定至该底板上，其中该两导电夹具会同时接触到该多个第一及第二导电体，使每一与该两导电夹具相接触的多个第一及第二导电体的电位相等，因此在该喷砂制造过程中所产生的静电会经由该两导电夹具导出而不会积聚在该基板表面的多个第一及第二导电体上。
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