[发明专利]具有薄膜层叠片的全集成热喷墨打印头无效

专利信息
申请号: 00108717.7 申请日: 2000-05-26
公开(公告)号: CN1286167A 公开(公告)日: 2001-03-07
发明(设计)人: N·A·卡瓦穆拉;C·C·达维斯;T·L·韦伯;K·E·特吕巴;J·P·哈蒙;D·R·托马斯 申请(专利权)人: 惠普公司
主分类号: B41J2/14 分类号: B41J2/14
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 蔡民军,黄力行
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用集成电路技术生产的一体化打印头,其中将包括喷墨元件(24)在内的薄膜层(24,40-50)设置在硅基片(20)的上表面。对以上各层进行蚀刻,以便形成通向所述喷墨元件(24)的导电体(25)。至少为每一个喷墨腔(30)设置一个通过薄膜层的输墨孔(26)。基片(20)的下表面蚀刻一个槽(36),以便油墨(38)流入该槽。该槽在接近输墨孔处的基片部分被全部蚀刻掉,从而在输墨孔附近构成了一叠片,该叠片支承喷墨元件。
搜索关键词: 具有 薄膜 层叠 集成 喷墨 打印头
【主权项】:
1.一种打印装置,包括:一个打印头,包括:一个打印头基片(20);设置在所述基片(20)的第一表面的若干薄膜层(24,40-50),所述层中的至少一层形成若干喷墨元件(24);通过所述薄膜层形成的输墨孔(26);和位于所述基片(20)上的至少一个开口(36),提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道;一所说薄膜层的叠片(45),它构成所说输墨孔的一边缘,并伸出在所说基片边缘之外。
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