[发明专利]光刻胶正胶组合物无效
| 申请号： | 00109344.4 | 申请日： | 2000-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1276540A | 公开（公告）日： | 2000-12-13 |
| 发明（设计）人： | 八子由子;竹山尚干 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 胡交宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种光刻胶正胶组合物,它含有一种树脂,该树脂通过酸的作用从碱不溶性或碱微溶性转化成碱可溶性;一种酸发生剂;和一种由右式(Ⅰ)表示的含氮环化合物,其中X表示CH2或者C(=O),R1,R2,R3和R4中的两个表示低级烷基,其余两个表示氢。该组合物即使在具有高的反射率的基底上也可形成具有光滑的图形边缘的良好的截面,而且,它具有宽的焦点边缘以及良好的敏感性和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶正胶 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶正胶组合物，它含有一种树脂，该树脂通过酸的作用从碱不溶性或碱微溶性转化成碱可溶性；一种酸发生剂；和一种由下式(I)表示的含氮环化合物：其中X表示CH2或者C(＝O)，R1，R2，R3和R4中的两个表示低级烷基，其余两个表示氢。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学工业株式会社，未经住友化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00109344.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：盒式记录盘
- 下一篇：信息处理方法、装置及介质
