[发明专利]高导热低膨胀复合材料及其制备工艺无效
申请号: | 00111439.5 | 申请日: | 2000-01-13 |
公开(公告)号: | CN1100155C | 公开(公告)日: | 2003-01-29 |
发明(设计)人: | 孔向阳;曾振鹏;吴建生 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C22C29/12 | 分类号: | C22C29/12;C22C32/00;C22C1/04;C04B35/495;C04B35/628;B22F1/02 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 毛翠莹 |
地址: | 200030*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种高导热低膨胀复合材料及其制备工艺,以高导热特性铜Cu与负膨胀特性钨酸锆α-ZrW2O8为组元的复合材料,采用化学镀工艺,在α-ZrW2O8粉体表面包覆铜层,掺杂微量超细石墨C粉,球磨混合过筛后采用冷等静压成型,再采用微波烧结工艺,获得致密的Cu/ZrW2O8复合材料。本发明工艺简单合理,制得的复合材料有较高的致密度和较好的热稳定性,可以用作超大规模集成电路以及电子器件基片材料。 | ||
搜索关键词: | 导热 膨胀 复合材料 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】:
1、一种高导热低膨胀复合材料的制备工艺,其特征在于采用化学镀工艺,在纯度为98%、含小于1%的ZrO2、粒度分布为0.5~2.5μm的α-ZrW2O8粉体表面包覆铜Cu层,使复合粉体中Cu所占的体积分数为40~50%,在复合粉体中掺杂体积分数为0.2~0.5%的微量超细石墨C粉,湿法球磨后过筛,采用冷等静压成型,成型压力为200~400MPa,再采用微波烧结的工艺,烧结温度控制在560~620℃,保温30~60分钟。
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