[发明专利]氟气发生器无效
申请号: | 00113979.7 | 申请日: | 2000-11-16 |
公开(公告)号: | CN1354123A | 公开(公告)日: | 2002-06-19 |
发明(设计)人: | 刘文元;李辉;陆兆达;王德贵 | 申请(专利权)人: | 西北核技术研究所 |
主分类号: | C01B7/20 | 分类号: | C01B7/20;B01J7/00 |
代理公司: | 西安新思维专利事务所有限公司 | 代理人: | 徐平 |
地址: | 710024 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种氟气发生器,包括分解反应器,其设置于电炉的炉腔内,分解反应器的出气口与HF吸收器的进气口连通,HF吸收器的出气口经输气管道与气体冷却器、气体粉尘过滤器相接,所述粉尘过滤器的出气口接工作台。电炉与温控器相连接。本发明产生的氟气纯度高,反应迅速,成本低,操作、使用安全简便。 | ||
搜索关键词: | 氟气 发生器 | ||
【主权项】:
1、一种氟气发生器,包括其内装有分解药品(2)的分解反应装置,其特征在于:所述的分解反应装置为分解反应器(1),其设置于电炉(3)的炉腔内,所述分解反应器(1)的出气口与HF吸收器(4)的进气口连通,HF吸收器(4)外部设有加热套(5),HF吸收器(4)的出气口经输气管道(19)与气体冷却器(11)的进气口连通,所述气体冷却器(11)的出气口经输气管(17)与粉尘过滤器(12)的进气口连通,所述粉尘过滤器(12)的出气口接有与工作台连通的输气管(18),所述输气管(18)上设置有控制阀(13);所述电炉(3)和加热套(5)分别与温控器(9)和(7)相连接。
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