[发明专利]用于表面形貌测量的位移传感器无效
| 申请号： | 00114436.7 | 申请日： | 2000-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1264824A | 公开（公告）日： | 2000-08-30 |
| 发明（设计）人： | 卢圣凤;李柱 | 申请（专利权）人： | 华中理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 华中理工大学专利事务所 | 代理人： | 方放,杨为国 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 用于表面形貌测量的位移传感器,固定部分由壳体内的激光器、偏振分光镜、λ/4波片、位移装置及与其相联接的物镜、聚焦透镜、光电转换器及自动聚焦控制电路组成可拆卸测头包括触针——反射镜测杆;测量精度高、工作稳定可靠、使用灵活,在一台仪器上同时能进行接触和非接触测量,降低仪器成本,可广泛用于研究和工业现场。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 形貌 测量 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于表面形貌测量的位移传感器，包括激光器和依次置放在光路上的偏振分光镜、λ/4波片、位移装置及与其相联接的物镜，所述偏振分光镜与光路成45°角，正对偏振分光镜与光路垂直放置聚焦透镜、其焦点处放置光电转换器，光电转换器与自动聚集控制电路、驱动电路、所述位移装置顺序通过电信号联接，上述各组成部分均固定于一壳体内，其特征在于：(1)所述壳体正对光路和物镜处开有通光孔，(2)在通光孔处通过螺纹或紧固螺钉联接可拆卸测头，(3)可拆卸测头由管状外壳及其内部一端带有触针、另一端固接反射镜的测杆构成。
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