[发明专利]玻璃上的硅光波导材料及其制作方法无效
| 申请号： | 00115581.4 | 申请日： | 2000-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1102540C | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王跃林;王文辉;李铁;杨艺榕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | C03C17/02 | 分类号： | C03C17/02;C03C27/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种玻璃上的硅光波导材料及其制作方法，该材料是以玻璃为衬底，硅为波导层，玻璃或玻璃一氧化硅做限制层的光波导材料，其制作方法包括硅片抛光面或具有氧化硅层的硅片的氧化硅面和玻璃片抛光面常规清洗后烘干，将玻璃片和硅片或硅片氧化硅面键合，对硅片减薄达到所需厚度。该材料及其制作工艺的优点是玻璃衬底直接作限制层，限制效果好，制作中无高温工艺，键合结果直观，对后续工艺设备的要求简化。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 波导 材料 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种玻璃上的硅光波导材料，具特征在于它是以玻璃为衬底，硅为波导层，玻璃做限制层的光波导材料。
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