[发明专利]半导体芯片装配用基板的检查用探针单元

摘要

防止在对半导体芯片装载用基板进行检查时因触碰基板一侧的电极从而损伤探针单元。把已将检查针5配设在探针单元3的最上层构件8上的检查针配设部分6设置为对于把该检查针配设部分6围起来的部分7凹进去。使其凹进深度D比检查针5的初始突出方向高度(全行程)S低,并把深度形成为在基板1触碰到周缘部分7上之际,焊料球9不会触碰到针支持孔10的边缘10a上。可以防止因基板一侧的端子触碰到支持检查针的孔的边缘上而损伤边缘。

主权项

1、一种半导体芯片装载用基板的检查用探针单元，该探针单元在对半导体芯片或为了与外部电路连接而配设有多个端子的半导体芯片装载用基板进行电学检查时，在与上述半导体芯片装载用基板对峙的面上，与上述多个端子对应起来出没自由地配设在突出方向上被赋予弹发势能的多个检查针，其特征是：使配设有上述多个检查针的部分，对于把配设有上述多个检查针的部分围起来的部分凹进去地设置为使得在触碰到上述端子上的上述检查针完全没入之前，上述探针单元的一部分先触碰到上述半导体芯片装载用基板上。