[发明专利]基板表面处理装置无效
| 申请号： | 00118129.7 | 申请日： | 2000-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1327888A | 公开（公告）日： | 2001-12-26 |
| 发明（设计）人： | 长濑英男;小川修;上林清;菊川诚;宝山隆博;中川俊元;中川光元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所;长濑产业株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;G03F7/16;G03F7/30;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 隗永良 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了处理液能循环使用、且即使反复循环使用也能连续保持处理液自身的性能的基板表面处理装置,该装置包括其中,依次将处理液与冲洗液送抵配置在处理台上的基板的处理装置;分别回收废处理液与废冲洗液的液体回收装置;贮留废处理液,由电导率计30和/或吸光光度计32检测废处理液中至少一种成分的浓度,依该检测值补给调整处理液,对处理液进行调整的废液贮留·浓度检测·液体补给装置;以及将调整后的处理液供给前述处理装置的处理液供给装置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板表面处理装置，其特征在于，它具有处理装置、液体回收装置、废液贮留装置、浓度检测·液体补给装置以及处理液供给装置，其中，处理装置依次将处理液与冲洗液送至配置在处理台上的基板上对基板表面进行处理；液体回收装置分别回收废处理液与废冲洗液；废液贮留装置用来贮留废处理液；浓度检测·液体补给装置是由电导率计和/或吸光光度计检测废处理液中至少一种成分的浓度，依该检测值补给调整处理液来调整处理液；处理液供给装置用来向前述处理装置供给经调整的处理液。
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