[发明专利]一种在线镀膜的方法无效
| 申请号： | 00118914.X | 申请日： | 2000-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1330048A | 公开（公告）日： | 2002-01-09 |
| 发明（设计）人： | 杨辉;葛曼珍;孟祥森;江仲华 | 申请（专利权）人： | 浙江大学无机非金属材料研究所 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 3100*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种用常压化学气相法(APCVD)对浮法玻璃进行在线复合镀膜深加工的方法,镀膜时用SiH4－NH3－N2－H2O系统,通过调整SiH4、NH3、H2O的比例,在硅薄膜中掺加一定量的氮、氧以达到复合镀膜的目的。制备温度低于700℃,N2的纯度在99.99%以上,NH3/SiH4流量比例范围是10～100,NH3中水汽含量为0.1～0.001%。镀膜后的平板玻璃力学性能和化学稳定性能大幅度提高,可以克服玻璃的粘片和霉变现象,产生积极的经济效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对浮法玻璃进行在线复合镀膜的方法，其特征在于用化学气相沉积法对浮法玻璃直接在线镀膜，在玻璃表面进行镀膜时，采用SiH4-NH3-N2-H2O系统，炉内充氮气作保护气体，氮气纯度为99.99％，NH3/SiH4流量比例为0～100/1，NH3中水汽含量为0～0.1％，反应温度600～750℃，反应时间为1～10分钟，生成较高质量的复合薄膜(主要含Si、N、O)，使制得的镀膜玻璃抗弯强度和硬度提高幅度较大，耐酸性、耐碱性良好，透光率＞80％。
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