[发明专利]一种制造显示基板的方法及利用该方法制造的显示基板无效
| 申请号： | 00121464.0 | 申请日： | 2000-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1282091A | 公开（公告）日： | 2001-01-31 |
| 发明（设计）人： | 中村真记;水野俊明;荻野悦男;安崎利明 | 申请（专利权）人： | 日本板硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J17/49;C23C14/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种制造显示基板的方法,该方法能容易地控制形成在基板一个表面上的抗带电薄膜的表面电阻值,还提供了一种用上述方法制造的显示基板。上述薄膜这样形成用金属氧化物制备一个靶标,以及在一种惰性气体和氮气的混合气体环境中利用该靶标以溅射法在基板的一个表面上形成一个金属氮氧化合物薄膜,其中环境中的惰性气体与氮气的混合比被调节得使薄膜具有希望的表面电阻值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 显示 方法 利用 | ||
【主权项】：
1、一种制造显示基板的方法，它包括以下步骤：用金属氧化物制备一个靶标；以及利用上述靶标在一种惰性气体和氮气的混合气体环境中以溅射法在基板的一个表面上形成一个金属氮氧化合物薄膜，其中在上述环境中上述惰性气体与氮气的混合比被调节得使上述薄膜具有希望的表面电阻值。
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