[发明专利]钝化层压点腐蚀溶液无效
| 申请号： | 00121546.9 | 申请日： | 2000-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1281062A | 公开（公告）日： | 2001-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘振芳 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第九研究院七七一研究所 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 航空航天工业部航天专利事务所 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 710045*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 钝化层压点腐蚀溶液,包含有浓度为38%－42%的氟化铵溶液、浓度96%－99.5%的冰醋酸、浓度95%－99.5%的丙三醇及去离子水(DI水),配比关系为(体积比)氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0.8—1∶0.8—1∶0.1—0.3∶0.1—0.3。本发明克服了压点发黄发黑的缺点,得到了光滑光亮的压点,其腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸硅片的使用,压点腐蚀合格率大超出预料,节约了原材料,加快工艺周期,该溶液已完全在科研及生产中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 钝化 层压 腐蚀 溶液 | ||
【主权项】：
1．钝化层压点腐蚀溶液，其特征在于：包含有浓度38％-42％的氟化铵溶液、浓度96％-99．5％的冰醋酸、浓度95％-99．5％的丙三醇及去离子水(D1水)，配比关系如下(体积比)：氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶D1水为0．8-1∶0．8-1∶0．1-0．3∶0．1-0．3。
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