[发明专利]曝光设备与曝光方法无效
| 申请号： | 00122461.1 | 申请日： | 2000-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1282956A | 公开（公告）日： | 2001-02-07 |
| 发明（设计）人： | 武田実;古木基裕;今西慎悟 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/12 | 分类号： | G11B7/12;G11B7/125;G11B7/135 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 洪玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 揭示了一种曝光设备和曝光方法。例如,把准备用于制备光盘的光盘原版装到曝光装置上,以便对记录密度基本上提高的光盘的光盘原版进行曝光。由SHG发射的波长为300nm或更短的曝光激光束经调制器的调制,用数值孔径为1.0或更大的物镜利用近场效应加到光盘原版。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 方法 | ||
【主权项】：
1．一种将曝光激光束加到光盘原版对所述光盘原版进行曝光的曝光设备，包括：激光源，用于由SHG发射波长为300nm或更短的曝光激光束；调制装置，用于调制该曝光激光束；及数值孔径为1．0或更大的物镜，适用于通过近场效应将调制装置调制的曝光激光束加到光盘原版上。
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