[发明专利]一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置无效
| 申请号： | 00123254.1 | 申请日： | 2000-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1351901A | 公开（公告）日： | 2002-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张劲松;杨永进;张军旗;刘强;沈学逊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置,其特征在于该装置由波导—同轴转换(1)、同轴腔(2)、带重入柱的TM010谐振腔(3)连接构成;同轴腔(2)的内导体(21)深入到TM010谐振腔(3)中,并通过高压引入结构(22)引入等离子体激发电压。本发明可以使等离子体得到有效控制,从而可以实现等离子体化学合成的产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 微波 强化 高压 低温 等离子体 化学反应 装置 | ||
【主权项】：
1、一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导—同轴转换(1)、同轴腔(2)、带重入柱的TM010谐振腔(3)连接构成；同轴腔(2)的内导体(21)深入到TM010谐振腔(3)中，并通过高压引入结构(22)引入等离子体激发电压。
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