[发明专利]激光加工方法、利用该方法生产喷墨记录头和喷墨记录头无效
申请号: | 00124245.8 | 申请日: | 2000-06-30 |
公开(公告)号: | CN1287900A | 公开(公告)日: | 2001-03-21 |
发明(设计)人: | 小出纯 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B41J2/16 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张维 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种不会产生副产品的激光加工方法,并且该方法能够在对一由如一种树脂材料做成的工件进行激光加工期间防止热能的聚集,从而精确地复制出一微小的掩模图案,本发明还提供一种用于利用这样一种激光加工方法生产喷墨记录头的方法以及一种由这样一种生产方法生产出来的喷墨记录头。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 方法 利用 生产 喷墨 记录 | ||
【主权项】:
1、一种通过用激光照射工件从而对工件进行激光蚀刻加工的激光加工方法,该方法包括,在通过把所述激光照射在一掩膜图案上进行加工中,采用在空间和时间中具有非常高能量密度的多种脉冲中的所述激光,该激光从一能够以一不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来,动态地改变在所述激光光线通过所述掩膜图案处由光衍射产生出的一种光斑干涉图象,从而形成所述光斑干涉图象的完整图象,以及产生出一种基本上与掩膜图案一样的图案。
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