[发明专利]收集装置有效
申请号: | 00126287.4 | 申请日: | 2000-08-03 |
公开(公告)号: | CN1284613A | 公开(公告)日: | 2001-02-21 |
发明(设计)人: | 野村典彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | F15B21/00 | 分类号: | F15B21/00;H01L21/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种收集装置,它包括一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;一气密密封收集容器,延伸过排气道和邻设于排气道的再生通道;一收集器,位于收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被排放气体中去除该产物,该收集器有选择地位于排气道或再生通道上;一阀门件,位于收集器的两侧,可与收集器一体移动一密封件,安装在阀门件的外周表面上,以便收集器被移动时能够在收集容器的内周表面上滑动。 | ||
搜索关键词: | 收集 装置 | ||
【主权项】:
1.一种收集装置,它包括:一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;一气密密封收集容器,交叉延伸通过上述排气道和邻设于上述排气道的再生通道;一收集器,位于上述收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被上述排放气体中去除上述产物,上述收集器有选择地位于上述排气道或上述再生通道上;一阀门件,位于上述收集器的两侧,可与上述收集器一体移动;一密封件,安装在上述阀门件的外周表面上,以便上述收集器被移动时能够在上述收集容器的内周表面上滑动。
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F15 流体压力执行机构;一般液压技术和气动技术
F15B 一般流体工作系统;流体压力执行机构,如伺服马达;不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B21-00 流体致动系统的共有特征;不包含在本小类其他各组中的流体压力致动系统或其部件
F15B21-02 .来自存储或定时装置的程序控制的伺服马达系统;所用的控制装置
F15B21-04 .同流体性能有关的各种专门措施,例如,排气、黏度变化的补偿、冷却、过滤、预防涡流
F15B21-06 .特殊流体的利用,例如液体金属;使用上述流体的流体压力系统的特殊利用及其控制部件
F15B21-08 .包括电控设备的伺服马达系统
F15B21-10 .延迟装置或设备
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