[发明专利]收集装置有效

专利信息
申请号: 00126287.4 申请日: 2000-08-03
公开(公告)号: CN1284613A 公开(公告)日: 2001-02-21
发明(设计)人: 野村典彦 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: F15B21/00 分类号: F15B21/00;H01L21/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 刘兴鹏
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种收集装置,它包括一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;一气密密封收集容器,延伸过排气道和邻设于排气道的再生通道;一收集器,位于收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被排放气体中去除该产物,该收集器有选择地位于排气道或再生通道上;一阀门件,位于收集器的两侧,可与收集器一体移动一密封件,安装在阀门件的外周表面上,以便收集器被移动时能够在收集容器的内周表面上滑动。
搜索关键词: 收集 装置
【主权项】:
1.一种收集装置,它包括:一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;一气密密封收集容器,交叉延伸通过上述排气道和邻设于上述排气道的再生通道;一收集器,位于上述收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被上述排放气体中去除上述产物,上述收集器有选择地位于上述排气道或上述再生通道上;一阀门件,位于上述收集器的两侧,可与上述收集器一体移动;一密封件,安装在上述阀门件的外周表面上,以便上述收集器被移动时能够在上述收集容器的内周表面上滑动。
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