[发明专利]微波等离子体处理装置及其处理方法无效
| 申请号： | 00126475.3 | 申请日： | 1997-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1294481A | 公开（公告）日： | 2001-05-09 |
| 发明（设计）人： | 铃木伸昌 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;C23C16/513 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的微波等离子体处理装置包括用介质构件将其周边与外界空气隔离开的等离子体发生室、利用设置在等离子体发生室周围并设有多个槽的无端环形波导管的微波引入装置等,其特征在于无端环形波导管的圆周长度Lg,无端环形波导管中微波的波长λg,介质构件的圆周长度Ls和在介质材料中传导的表面波波长λs大体满足关系式Ls/λs=(2n+1)Lg/λg,其中n为0或自然数。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 处理 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1．微波等离子体处理装置包括：用介质构件把其周边与外界空气隔离开的等离子体发生室；使用设置在所述等离子体发生室周围并设有多个槽的无端环形波导管的微波引入装置；用于待处理基片的支承构件；用于所述等离子体发生室的气体引入装置；和用于所述等离子体发生室的抽真空装置；其特征在于：所述无端环形波导管的圆周长度Lg，所述无端环形波导管中微波的波长λg，所述介质构件的圆周长度Ls，所述介质构件中传导的表面波的波长λs大体满足关系式：Ls／λs=(2n+1)Lg／λg其中n为0或自然数。
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