[发明专利]等离子体处理装置和使用该装置的等离子体产生方法无效
| 申请号： | 00130036.9 | 申请日： | 2000-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN1294480A | 公开（公告）日： | 2001-05-09 |
| 发明（设计）人： | 田口典幸;泽田康志;山崎圭一;中园佳幸;猪冈结希子;喜多山和也 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤,陈红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置,利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备,能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括具有孔的产生等离子体的室,等离子体从该孔吹出;气体供应单元,用于将产生等离子体的气体送入室中;一对电极;电源,用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体;用于提供脉冲电压的脉冲发生器;以及点火电极,用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 使用 产生 方法 | ||
【主权项】：
1．一种等离子体处理装置，用于以大气压力附近的压力下产生的等离子体来处理对象，所述装置包括：具有孔的产生等离子体的室，所述等离子体从该孔吹出；气体供应，用于将产生等离子体的气体送入所述室；一对电极；电源，用于在所述电极之间施加交流电场以维持所述室内的所述等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对所述室内所送入的所述气体施加所述脉冲电压以产生等离子体。
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