[发明专利]其中带有弹出反射镜的集成光电子装置及形成与操作方法无效
| 申请号： | 00133799.8 | 申请日： | 2000-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1296191A | 公开（公告）日： | 2001-05-23 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·L·武德;艾德华·阿瑟·希尔 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼费斯公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/08;G02B1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了其中带有弹出反射镜的集成光电子装置及形成与操作所述装置的方法。所述装置包括其中有一个开口、至少部分地贯通延伸的衬底(例如SOI衬底)。在开口内还提供一个具有近似地限制衍射的质量的反射镜,通过一个铰链机械地同衬底连接,使得反射镜能从闭合位置转动到打开位置。在单晶硅底层上还提供一个多晶硅静电压紧电极。该电极可方便地用于在即使对开口施加一个足够强的磁场的情况下将反射镜压紧在闭合位置。 | ||
| 搜索关键词： | 其中 带有 弹出 反射 集成 光电子 装置 形成 操作方法 | ||
【主权项】：
1．一种形成光电子装置的方法，包括步骤：在其上面有一个第一电绝缘层的衬底上形成一个导电层；通过形成一个延伸经过导电层并暴露第一电绝缘层的第一表面的槽，由第一导电层形成一个反射镜底层；去除一部分衬底与相应部分的第一电绝缘层以暴露反射镜底层的前表面；在反射镜底层的前表面上形成一个光反射镜面；以及凹陷第一电绝缘层以暴露槽。
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