[发明专利]激光腐蚀方法及其装置无效
| 申请号： | 00134285.1 | 申请日： | 2000-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1297799A | 公开（公告）日： | 2001-06-06 |
| 发明（设计）人： | 小出纯 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;H01L21/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种借助于用来自能够依次发射脉冲辐射时间不超过1皮秒的空间上和时间上大能量密度的光脉冲的激光振荡器的激光,辐照无机材料组成的工件而进行光学烧蚀加工的激光腐蚀方法,其中,在借助于用来自具有预定图形和具有预定能量密度的激光振荡器的激光对其辐照的无机材料组成的工件的激光腐蚀过程中,利用了用来防止加工副产品在腐蚀位置周围沉积的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 腐蚀 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1．一种借助于用来自能够依次发射脉冲辐照时间不超过1皮秒的在空间和时间上大能量密度的光脉冲的激光振荡器的激光来辐照无机材料组成的工件的用于光学烧蚀加工的激光腐蚀方法：其中，在用来自具有预定图形和具有预定能量密度的所述激光振荡器的激光进行其辐照的由所述无机材料组成的工件的激光腐蚀过程中，利用了防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的装置。
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