[发明专利]液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法无效
| 申请号： | 00136495.2 | 申请日： | 2000-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1307326A | 公开（公告）日： | 2001-08-08 |
| 发明（设计）人： | 久保田健;小松纪和 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社;精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G09G3/36 | 分类号： | G09G3/36;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 可以得到能够防止起因于与外部气氛接触的化学性污染的液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法。具备清洗处理室(1a、1b)、在清洗处理室内清洗完毕的层的上边进行成膜处理的成膜处理室(2)、从清洗处理室向成膜处理室移动基板(11)而不会暴露于外气中的外气隔断移送装置(3、4)。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 显示装置 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1．一种液晶显示装置的制造装置，具备：对液晶显示装置的基板(11)进行清洗的清洗处理室(1a、1b、44)；对于在上述清洗处理室中清洗完毕的上述基板进行成膜处理的成膜处理室(2)；从上述清洗处理室向上述成膜处理室移送上述基板而不暴露于外气中的外气隔断移送装置(3、4、18、48)。
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