[实用新型]物体振动振幅的光学测量仪

摘要

一种物体振动振幅的光学测量仪,包括沿光源发射光束的前进方向上,依次置有第一透镜、第二透镜、分束器、偏振分束器、偏振变换器至被测物体。由被测物体第一次反射的带有斑纹噪音的光束经偏振分束器反射后,由第四透镜会聚至光折变晶体。光折变晶体产生的相位共轭光由偏振分束器反射到被测物体,被测物体反射的相位共轭光不再带有斑纹噪音。因此,无论是表面光滑或粗糙的被测物体,其振动振幅均可以亚纳米分辨率地检测。

主权项

1．一种物体振动振幅的光学测量仪，包括：光源(1)，沿光源(1)发射的线偏振光束(G0)前进方向上，与光源(1)同光轴(O-O)地依次置有第一透镜(2)、第二透镜(3)和分束器(5)；分束器(5)透射光束(Gt1)的光路上置有偏振变换器(11)和被测物体(12)；在分束器(5)相对光源(1)的反射面上的反射光束(Gf1)的光路上置有参考衰减反射器(4)；分束器(5)相对被测物体(12)的反射面上的反射光束(Gf2)的光路上置有第三透镜(6)和光电接收元件(7)；光电接收元件(7)输出的电信号通过放大器(13)和数据采集卡(14)输入计算机(15)；其特征在于分束器(5)和偏振变换器(11)之间，与分束器(5)和偏振变换器(11)同光轴(O-O)地置有偏振分束器(8)；偏振分束器(8)相对被测物体(12)反射面的反射方向与光源(1)光轴(O-O)垂直的方向上置有第四透镜(9)；第四透镜(9)的焦点处置有光折变晶体(10)。