[实用新型]非铁基表面硅化钛涂层装置

摘要

非铁基表面硅化钛涂层装置,顶端成一体的在固定支承架上的双层石英玻璃钟罩,内罩有氮气的进气管和气源气的喇叭口在当中向下的进气管,外罩有3～6个均布的出气管,内罩下边沿短于外罩下边沿;在固定支承架中间依次是圆形的电炉、基座,转轴从下面通过固定支承架、电炉的中心孔与基座固连,在电炉与密封圈间的固定支承架下有水冷却管,电炉下面的转轴上有水冷却套。本装置能抑制气相分解,在非铁基表面进行均匀的高质量的硅化钛涂层。

主权项

1．一种非铁基表面硅化钛涂层装置，其特征在于：内罩有一个通氮气的进气管[2]和一个通气源气的喇叭口位于当中向下的进气管[3]的，外罩有3～6个均匀分布的出气管[4]的，内罩下边沿短于外罩下边沿的顶端固连成一体的双层石英玻璃钟罩[1]，布置在圆形固定支承架[8]上，在双层石英玻璃钟罩[1]的外罩与固定支承架[8]之间设置密封圈[7]，在固定支承架[8]中间依次布置圆形的电炉[10]、基座[5]，转轴[12]从下面通过固定支承架[8]、电炉[10]的中心孔与基座[5]固连，在电炉[10]与密封圈[7]之间的固定支承架[8]下面布置水冷却管[9]，在电炉[10]下面的转轴[12]上设置水冷却套[11]。