[实用新型]泡沫镍磁控溅射卷绕镀膜机无效
| 申请号： | 00251939.9 | 申请日： | 2000-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN2450227Y | 公开（公告）日： | 2001-09-26 |
| 发明（设计）人： | 彭晶;胡浩龙;李伟;蒋力;王剑;刘婧 | 申请（专利权）人： | 湖南三才光电信息材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南省专利服务中心 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410015 长沙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型的结构是,机体是一个由上部放料室(1)和下部收料室(12)及中间立式隧道式真空室(15)组成的封闭箱体,室(1)和(12)中分别装有放、收料辊(2)(10),真空室(15)中竖向装有多对导向板(5)(8),在辊(2)与板(5)及辊(10)与板(8)间有若干导向辊(4)(9),多组磁控溅射阴极和镍靶(6)分设在真空室(15)对应两侧且该两侧装有相应的阳极(7)。室(1)(12)分别装有无张力监控探头(3)(11),室(1)有抽气接口(13)而室(12)有观察窗(14)。在无张力及真空条件下镀镍产品质量高、生产中无污染产生。 | ||
| 搜索关键词： | 泡沫 磁控溅射 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种泡沫镍磁控溅射卷绕镀膜机，其特征是，它的机体是一个由上部放料室(1)和下部收料室(12)以及位于该二室(1)(2)之间的立式隧道式真空室(15)组成的封闭箱体，由外接动力驱动旋转的放料辊(2)安装在设有抽气接口(13)的放料室(1)中而收料室(12)中装有由外接动力驱动旋动的收料辊(10)，在立式隧道式真空室(15)中由上到下装有若干成对的导向板(5)(8)，在放料辊(2)与上导向板(5)以及收料辊(10)与下导向板(8)之间分别装有若干导向辊(4)(9)，多组磁控溅射阴极和镍靶(6)分别设置在立式隧道式真空室(15)对应两则且该两侧装有相应的阳极(7)。
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