[实用新型]导轨式流延装置无效
| 申请号： | 00255130.6 | 申请日： | 2000-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN2448049Y | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | 郭有亭;祝翌 | 申请（专利权）人： | 深圳南虹电子陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 王雄杰 |
| 地址： | 518067 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种导轨式流延装置，包括送板装置、浆料斗和接板装置和导轨装置，浆料斗在送板装置和接板装置之间的上方，导轨装置置于送板装置和接板装置的一侧，导轨装置由支架、固定在支架上的导轨、导轨上的滑动装置组成，滑动装置上有基板固定装置。滑动装置可以是具滑轮的回转摆动气缸，气缸的摆臂上固定吸附基板的吸盘，吸盘接真空发生器。本实用新型是一种浆料流延薄膜均匀、浆料不易沾到基板下表面且尺寸较小的新型导轨式流延装置。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨 式流延 装置 | ||
【主权项】：
1、一种导轨式流延装置，包括送板装置、浆料斗和接板装置，浆料斗在送板装置和接板装置之间的上方，其特征在于：还包括导轨装置，导轨装置置于送板装置和接板装置的一侧，导轨装置由支架、固定在支架上的导轨、导轨上的滑动装置组成，由电机传动的滑动装置上有基板固定装置。
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